壓電式微壓傳感器靈敏度的測(cè)量方案

圖3 1#傳感器兩次靈敏度測(cè)量曲線

3 結(jié)論

(1)采用均勻聲腔硅油介質(zhì)中傳播的聲波作為壓力源,用比較法比較標(biāo)準(zhǔn)傳感器和被測(cè)傳感器的輸出,可有效地測(cè)量壓電式微壓傳感器的靈敏度及頻率響應(yīng)特性。3只傳感器的測(cè)量靈敏度分別為3.05,2.98,2.98mV/Pa,靈敏度波動(dòng)小于0.5mV/Pa,頻率響應(yīng)范圍為20～2000Hz。

(2)從圖4可看出:油腔波動(dòng)聲壓測(cè)量系統(tǒng)同一樣品的2次測(cè)量數(shù)據(jù)(靈敏度及頻率響應(yīng)范圍)重復(fù)性較好,偏差小于0.24mV/Pa。由于測(cè)量介質(zhì)為硅油,每個(gè)樣品需置于硅油中測(cè)試,測(cè)完后需進(jìn)行清洗,使用不便。下一步應(yīng)完善測(cè)試系統(tǒng),設(shè)計(jì)防油透聲層保護(hù)被測(cè)傳感器免于接觸硅油,以簡化操作。