基于ARM的擴散／氧化控制系統的設計
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在本系統中使用晶閘管控制的電阻絲給擴散／氧化爐加溫，為了防止市電對系統的影響，必須使用光電隔離器隔離本系統與市電的連接。
圖2 ILC7135 A／D轉換原理圖
2.3 氣路系統和推拉舟系統的硬件設計
在擴散／氧化工藝中，根據工藝的不同需要通入4種不同種類和質量的氣體。所以在氣路控制系統中，需要4路開關量控制4種不同氣體的通斷，以及4路模擬量控制氣體質量流量計。質量流量計能夠輸出4 mA～20 mA或0～5 V的氣體質量信號，在控制精度要求不高的系統中，可以不理會質量流量計輸出的氣體質量信號，為了保證控制精度，可以采集氣體質量信號。
在4路開關量控制中，可以使用繼電器控制通斷。
在4路模擬量控制氣體質量流量計中，需要4路D／A轉換。根據控制精度的要求，選用12位的D／A芯片DAC1230，因為控制信號為電壓信號，所以需要把電流信號轉換成電壓信號。圖3即為氣路控制系統D／A轉換原理圖。
圖3 氣路控制系統D／A轉換原理圖
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