EDWARDS發布全新真空鎖室泵系列

　　全球領先的尖端真空設備和尾氣處理系統制造商及相應增值服務供應商Edwards公司宣布推出全新iXL250Q和iXL750Q干泵。新推出的干泵設備，加上已有的iXL500Q干泵，涵蓋了平板顯示器(flat panel display，FPD)和太陽能制造市場領域中的全系列抽空要求，包括從較小的第四代FPD制造中的真空鎖室泵直到第八代或第十代FPD制造中的最大型真空鎖室泵。在2012年7月10-12日于美國加利福尼亞州舊金山舉辦的InterSolar博覽會，Edwards公司將在北廳(North Hall)的 5351號展臺展出該設備，敬請參觀以了解有關iXL系列的更多信息。

　　這些性能領先的真空泵設計用于使基底產出率最大化，同時使功率、占位面積和重量降到最低。另外，在檢修間隔期間無需維護。所有的真空泵均具備“綠色”工作模式，能夠在待機期間以更低的功率運行，從而有很大的潛力來降低運營成本。

　　Edwards公司FPD干泵高級產品經理Allister Watson博士稱：“把總體擁有成本降至最低是Edwards與客戶共同的優先考慮事項。我們注重引導客戶根據其要求來選擇最高效的設備。新型iXL干泵進一步擴展了我們的產品組合，因而我們能夠為客戶提供效率盡可能高的方法，以最低的成本實現最優化的性能。”　　

　　特定體積工藝室的抽空時間主要取決于泵在接近大氣壓力時的可用抽速。正如產品名稱所提示，iXL250Q、iXL500Q和iXL750Q在大氣壓力附近提供大約250 m3/h、500 m3/h和750 m3/h的抽速。iXL250Q目標是較小的工藝室，它們用于較早一代FPD(例如第四代)制造，而iXL500Q和iXL750Q則更適合較大的工藝室，可在第八代和第十代FPD制造中使用。

　　Edwards公司新型iXL泵系列現在可以供貨。