Panasonic電工PhotoMOS MOSFET輸出光電耦合器的概要2

　　b觸點型“PhotoMOS”的開發

　　隨著PhotoMOS MOSFET輸出光電耦合器的優勢被廣泛了解，人們將其用于信息通信設備、OA設備、FA設備及其他廣泛的領域。為了滿足大眾進一步的需求，本公司開發出了“可通過機械實現、并擁有所有觸點構成(b觸點、c觸點)”的PhotoMOS MOSFET輸出光電耦合器。

　　為實現該產品的開發，我們在功率MOSFET制造工藝中采用了融有DSD法(Double-Diffused and Selective Doping Method)且高耐壓、低導通電阻的耗盡型功率MOSFET。

　　這種DSD法是在以往生產增強型功率MOSFET時所使用的雙重擴散法中，增加了可選擇性地將雜質部分擴散的技術，且該方法在補償溝道雜質濃度的同時，形成與基板濃度相同的低濃度的淺層。圖1為兩者賽璐珞部分截面構造圖的比較。

　　如圖2所示，該功率MOSFET在柵極電壓為0且為低導通電阻(Typ.18Ω)時，可保持良好的導通狀態，但是一旦在柵極施加微小的附加電壓，即會呈現出高耐壓(400V以上)的高絕緣性(低漏電流：1μA以下)(如圖3所示)。

　　這種高耐壓、低導通電阻性能原本為二律背反關系，故在傳統的增強型功率MOSFET中就已經需要高度的技術水平，因此該性能在耗盡型功率MOSFET中能夠得以實現可以說是具有了劃時代意義。