SUSS MicroTec推出面向LED市場的專用光刻系統

　　SUSS MicroTec，全球知名的半導體行業及相關設備和工藝解決方案供應商，推出新一代MA100e光刻機，專用于高亮度發光二極管(HB-LEDs)生產。MA100e基于SUSS MicroTec光刻機經典設計，具有最大至4英寸的載片能力，每小時產量可達145片，業界領先。

　　電視機、顯示器等對LED背光的需求急劇增長，LED設備生產商必須盡力滿足這一市場增長需要。LED行業對成本很敏感，所以SUSS MicroTec設計的MA100e Gen2自動光刻機在成本控制方面極具競爭力。設備配置的高照度光路和預對準系統大大縮短作業時間，功能上接近式光刻分辨率可達2.5um，極大提高了產率和成本效率。MA100e Gen2提供卓越的工藝延展性，使用戶能將新的芯片設計快速投入市場。

　　SUSS MicroTec總裁兼首席執行官Frank Averdung先生指出：“我們清楚地認識到尖端高亮度發光二極管技術日益增長的需求，并且看到LED業界為降低成本而開始向高度自動化方向發展。SUSS MicroTec開發的新一代的MA100e正是專為LED生產設計的高效率全自動光刻機，可以幫助我們的用戶降低每流明成本，提高生產效率。”