- 近日，衛光科技六吋線二期高端功率器件項目首臺重點工藝設備超薄晶圓減薄機DFG8540移入微晶微電子公司生產線。該設備是為滿足高端FS型IGBT器件超薄晶圓減薄工藝所需，主要用于6英寸硅片的圓片減薄工藝，可將硅片減薄至85um，同時可保證硅片的平整度。設備的引入將在推進微晶微新產品工藝研發、新品研制等方面發揮引領作用。
- 關鍵字：
衛光科技 高端功率器件 工藝設備
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