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相移干涉技術(shù)在小角度及直線度測量中的應(yīng)用
- 摘要:應(yīng)用相移干涉及Zernike多項(xiàng)式波面擬合技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)空間小角度的高精度測量,測量精度可達(dá)到0·013″。與...
- 關(guān)鍵字： 相移干涉技術(shù) 小角度 直線度測量
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