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        N2 Purge在LPCVD爐管氮化硅工藝中的應用
        
                                                            
          
                    	
        • 在亞微米的生產制造技術中，氮化硅工藝的particle已經成為產品良率的主要影響因素。本文主要針對立式LPCVD氮...
          • 
                    	                        
        • 關鍵字：
                        N2  purge  氮化硅生產  Particle問題                          
          • 
                   	
        
                    
        
                
        
                                                

                
        
	                
        
		                	
        
	
        
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