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MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
- 1 引言 大氣壓力傳感器在工業生產、氣象預報、氣候分析、環境監測、航空航天等方面發揮著不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優異。如今基于MEMS技術得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結構更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
- 關鍵字： MEMS
MEMS固態風速風向傳感器的設計與制作
- 1 引言 風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風向。超聲測風儀可以同時進行超聲波的發射和接收，基于多普勒效應測量風速，用三個或者四個探頭根據三角關系測量風向信息。基于MEMS技術傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術的風速和風向測量傳感器受到了研究者的重視。 本文介紹了基于MEMS的固態風速風
- 關鍵字： MEMS
MEMS傳感器進駐汽車發動機
- 近年來，從半導體集成電路(IC)技術發展而來的MEMS (微電子機械系統)技術日漸成熟。利用這一技術可以制作各種性能敏感的力學量、磁學量、熱學量、化學量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現許多全新的功能，便于大批量和高精度生產，單件成本低，易構成大規模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術 20世紀80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產的、并在汽車中得到廣泛應用的微型傳感器。然而微型傳感器的
- 關鍵字： MEMS 傳感器
MEMS機油壓力傳感器可靠性研究
- 1 引言 MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發展起來的高新技術，用MEMS技術研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產、成本低的優勢，它們已經開始逐步取代基于傳統機電技術的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應用到了汽車電子系統中，如發動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發出汽車發動機機油壓力傳
- 關鍵字： MEMS 傳感器
汽車MEMS傳感器應用及發展
- 摘要：本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統）傳感器的應用現狀及發展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結構，同時對該領域的產業化也進行了探討。 關鍵詞：汽車傳感器、微機電系統、力敏器件。 一、引言 MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發展起來的高新科技，其研究開發主要集中在微傳感器、微執行器和微系統三個方面，目前主導MEMS市場的傳感器已形成產業。用此技術研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質量輕、響應快、靈敏度高、易生產、成本低的優勢，可以測量各種物理
- 關鍵字： MEMS 傳感器
飛思卡爾建成先進的200-mm MEMS生產線
- 飛思卡爾半導體建成先進的微機電系統(MEMS)200-mm(8-inch)生產線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產線是在飛思卡爾設在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對公司在日本仙臺的現有150-mm(6-inch) MEMS生產線的補充。 隨著MEMS傳感器市場的持續增長，大批量MEMS生產技術仍顯得至關重要。飛思卡爾在生產基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業界領先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實現全面的傳感、控制、連接
- 關鍵字： 飛思卡爾 半導體 MEMS MCU和嵌入式微處理器
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