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        BluGlass通過RPCVD技術減少GaN膜生長雜質

        • 澳大利亞的BluGlass公司聲稱使用他們的低溫遠程等離子體化學氣相沉積(RPCVD)技術可以產(chǎn)生理想純度的氮化鎵(GaN ...
        • 關鍵字: BluGlass  RPCVD技術  GaN膜  生長雜質  
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        rpcvd技術介紹

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