- 荷蘭光刻機制造商ASML官方宣布,收購其競爭對手荷蘭代爾夫特的光刻機制造商Mapper的知識產權資產。同時,ASML的官方聲明中還寫到,將為Mapper在研發和產品裝配方面的高技能員工提供合適的職位
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ASML Mapper
- TSMC與荷蘭商MAPPER公司于19日共同宣布,MAPPER公司安裝在TSMC晶圓十二廠超大晶圓廠的原型機臺正不斷地重復寫出超微小電路元件,系先前使用浸潤式微影技術所無法達到的成果。
過去幾個月來,TSMC擴充了無光罩微影技術的研究團隊,并與MAPPER公司的工程師們一同在晶圓十二廠里合力將電子束直寫能力整合至工藝中,以供未來更先進的技術世代使用。
TSMC研究發展資深副總經理蔣尚義博士表示:「TSMC在工藝上一直不斷尋求最具成本效益的做法,而使用MAPPER公司機臺所得到的成果,不僅符
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臺積電 晶圓 MAPPER
- 半導體設備供應商Mapper Lithography BV公司日前獲得荷蘭經濟事務部名為SenterNoven的機構達1000萬歐元(合1470萬美元)的補貼。
Mapper公司將利用此筆資金開發試用版設備。公司表示目前正在設計一款無掩模光刻設備的開發。這款設備將含有超過10000道平行電子束,從而將會在晶圓上直接形成圖樣,降低普通光刻設備上由于采用掩模版而帶來的高昂成本。
Mapper將聯合股東各方Catena,Technolution,Multin Hittech,Demcon,Del
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Mapper 半導體設備 光刻
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