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        臺積電加入EIDEC聯(lián)盟

        •   臺積電與日本瑞薩電子(Renesas)決定加入以研發(fā)次世代半導(dǎo)體制造技術(shù)為目標(biāo)的EUVL基板開發(fā)中心(EIDEC)。EIDEC是由東芝(Toshiba)領(lǐng)軍,由11間日本企業(yè)共同出資設(shè)立,致力于研究深紫外線(EUV)微影技術(shù)。   
        • 關(guān)鍵字: 臺積電  EUVL基板  
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        euvl基板介紹

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