- 臺積電與日本瑞薩電子(Renesas)決定加入以研發次世代半導體制造技術為目標的EUVL基板開發中心(EIDEC)。EIDEC是由東芝(Toshiba)領軍，由11間日本企業共同出資設立，致力于研究深紫外線(EUV)微影技術。
- 關鍵字：
臺積電 EUVL基板
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