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Gigaphoton將LPP EUV光源輸出端最大等效功率提升至20W級別
- Gigaphoton公司18日宣布已經成功將LPP EUV光源產品的輸出端等效最大功率推進到了20W水平。該公司達成這個目標所使用的方法是，使用固態(tài)預脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標。采用這種方法，該公司在光源運行過程中達成了平均 10W水平的輸出功率。由于目前普遍認可的預生產型商用EUV光源輸出功率級別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標志著預生產極 EUV光源發(fā)展過程中的一個新里程碑。 ? ? Gigaphoton公司
- 關鍵字： Gigaphoton EUV光源
EUV光源廠商散伙
- 日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已終止有關光源合資企業(yè)Gigaphoton的合作協(xié)議。Komatsu將從Ushio手中買下50%股權。未來Gigaphoton將成為Komatsu的全資子公司。而此舉會為EUV的未來投下何種變數(shù)仍有待觀察。
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