- 半導體光刻光源的主要供應商Gigaphoton株式會社(母公司：栃木縣小山市，董事長：浦中克己)宣布，為提高設備的工作效率，公司將制定新的產品規劃圖，以應對需求量不斷高漲的半導體廠家的要求。
Gigaphoton此次制定的產品規劃圖“RAM Enhancement”加強了DUV光源受激準分子激光器的可靠性(Reliability)、可用性(Availability)以及可維護性(Maintainability)。公司已經開始行動，將在2020年前打破被業界定位為極限的&l
- 關鍵字：
Gigaphoton DUV
- Gigaphoton公司18日宣布已經成功將LPP EUV光源產品的輸出端等效最大功率推進到了20W水平。該公司達成這個目標所使用的方法是，使用固態預脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標。采用這種方法，該公司在光源運行過程中達成了平均 10W水平的輸出功率。由于目前普遍認可的預生產型商用EUV光源輸出功率級別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標志著預生產極 EUV光源發展過程中的一個新里程碑。
?
?
Gigaphoton公司
- 關鍵字：
Gigaphoton EUV光源
- 日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已終止有關光源合資企業Gigaphoton的合作協議。Komatsu將從Ushio手中買下50%股權。未來Gigaphoton將成為Komatsu的全資子公司。而此舉會為EUV的未來投下何種變數仍有待觀察。
- 關鍵字：
Gigaphoton EUV光源
gigaphoton介紹
您好，目前還沒有人創建詞條gigaphoton!
歡迎您創建該詞條，闡述對gigaphoton的理解，并與今后在此搜索gigaphoton的朋友們分享。
創建詞條
關于我們 -
廣告服務 -
企業會員服務 -
網站地圖 -
聯系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產品世界》雜志社 版權所有 北京東曉國際技術信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網安備11010802012473
