- 某款光電編碼器在工業機器人上長期服役2~5年后，出現多例主芯片失效。運用宏觀、體視顯微鏡、EDS能譜、逸出氣分析（EGA,TG/MS聯用)等展開理化檢驗、分析。結果表明，其內部散熱片基材等零部件在高負載工況下逸出的硫化氣體，在主芯片密集引腳位置冷凝聚集，產生硫化腐蝕并導致短路與通訊失效。結合失效研究防護、防潮方案，經硫化、潮態等惡劣氣氛暴露驗證，并結合面掃描EDS能譜、內部溫濕監測等試驗手段量化證明了防護的有效性。改善后的編碼器替換上整機，經3年以上使用，未再現主芯片硫化失效。
- 關鍵字：
光電編碼器 主芯片 硫化 EGA（TG/MS聯用） EDS能譜 失效分析 202103
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