- _____在現代ULSI電路中溝道熱載流子（CHC）誘導的退化是一個重要的與可靠性相關的問題。載流子在通過MOSFET通道的大電場加速時獲得動能。當大多數載流子到達漏極時，熱載流子（動能非常高的載流子）由于原子能級碰撞的沖擊電離，可以在漏極附近產生電子—空穴對。其他的可以注入柵極通道界面，打破Si-H鍵，增加界面態密度。CHC的影響是器件參數的時間相關的退化，如VT、IDLIN和IDSAT。這種通道熱載流子誘導的退化（也稱為HCI或熱載流子注入）在NMOS和PMOS器件上都可以看到，并會影響所有區域的器件
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