隨著先進制程技術的不斷演進,高效的自動物料搬運系統已成為現代半導體制造的不可或缺的一部分,而半導體制造對生產效率和精度的要求不斷提升,使智能信息化成為AMHS生產過程安全、高效管理的關鍵。作為中國領先的半導體制造AMHS(自動化物料搬運系統)整體解決方案提供商,彌費科技聚焦AMHS智能制造,以符合半導體行業標準的工業識別產品為信息載體,自主研發了系列傳感控制設備,為AMHS天車系統、存儲設備、半導體機臺設備等生產過程信息化提供一整套應用解決方案。RFID Reader在12吋晶圓傳送設備Foup Stoc
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彌費科技近期宣布完成C輪億元融資,由大眾聚鼎領投、璟侑資本跟投。此次融資將加大在研發和運營方面的投入,擴充海外產能的建設,助力彌費科技在全球范圍內加速布局半導體自動物料搬運系統(AMHS)。自2014年成立以來,彌費科技憑借其卓越的技術實力,深耕于AMHS系統中最復雜的應用場景——晶圓制造廠。公司已成功研發出5大產品系列,33款軟硬件結合的AMHS產品。這些產品不斷經過眾多國內外晶圓廠的實際應用與驗證,實現了持續的優化與迭代。自動物料搬運系統在晶圓制造廠中扮演著至關重要的角色,相當于晶圓制造廠的傳輸中樞。
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彌費科技近期宣布已在兩家12吋晶圓廠完成自動物料搬運系統(AMHS)的驗收,成為國內首家在晶圓廠領域打破海外長期壟斷的國產AMHS供應商。在晶圓廠整廠AMHS系統級驗收上,彌費科技已累計完成一家8吋碳化硅晶圓廠,一家12吋IDM晶圓制造廠和一家12吋標準代工廠國產化驗證平臺,并打通了驗證平臺和量產代工廠之間的銜接,實現了該驗證平臺上的所有國產化晶圓生產設備和量產線之間的無縫切換,既完成了國產化率和供應鏈安全的目標,也幫客戶實現了整廠晶圓制造效率的顯著提升。不同應用領域對AMHS系統的性能要求不同。相比于面
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液晶顯示器從前主要用于筆記本電腦、臺式機顯示器等領域。隨著時代的進步,從2004年開始,TFT-LCD在平板電視領域的應用規模日趨擴大,已經逐漸成為平板電視機和顯示器的主角。為提高生產效率,液晶面板廠商加工的玻璃基板尺寸越來越大,AMHS(自動物料搬運系統)已經成為液晶面板生產中不可或缺的搬運設備。另外,AMHS的效率還將直接影響全廠的生產效率。
隨著平板電視尺寸越來越大,用于制造液晶顯示器的玻璃基板也隨之逐漸擴大。根據玻璃基板尺寸的大小,液晶面板生產線被劃分為不同世代。第1代液晶玻璃基板的尺寸
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具有競爭力的晶圓廠必須一方面做到高設備利用率,一方面又使處于制程中的晶圓量維持在最低,同時還必須讓晶圓生產周期壓縮到最短。這兩項要求可能互相抵觸。而解決的關鍵是不要讓簡稱為「AMHS」的「自動物料處理系統」成為晶圓處理過程中的瓶頸,限制了晶圓廠的表現。
為半導體及平面顯示器制造廠提供整合式自動化解決方案領導供貨商ASYST今天宣布推出Agile Automation,這是一種在半導體晶圓廠新的自動化物料處理(Automated Material Handling)方式。
Agile A
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FabEX是一種優化的、“無需等待”的自動物料傳送系統,擁有其專利技術,傳送晶圓盒的速度非常快(>3米/秒),因而,能縮短生產周期,提高設備的利用率和增加生產產能。與采用傳統運輸裝置或者懸吊式搬運車輛的AMHS相比,FabEX速度更快,它能夠曲線移動或者爬坡,擺動小,有效控制了顆粒物的產生。由于FabEX不需要任何搬運車輛,所以它能提供很高的產能。以上特性都基于IP 技術控制和軟件,它能 [
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