精準識別，智能傳輸，彌費科技AMHS傳感控制設備解決方案

隨著先進制程技術的不斷演進，高效的自動物料搬運系統已成為現代半導體制造的不可或缺的一部分，而半導體制造對生產效率和精度的要求不斷提升，使智能信息化成為AMHS生產過程安全、高效管理的關鍵。

作為中國領先的半導體制造AMHS（自動化物料搬運系統）整體解決方案提供商，彌費科技聚焦AMHS智能制造，以符合半導體行業標準的工業識別產品為信息載體，自主研發了系列傳感控制設備，為AMHS天車系統、存儲設備、半導體機臺設備等生產過程信息化提供一整套應用解決方案。

RFID Reader在12吋晶圓傳送設備Foup Stocker中的通信應用

此次發布的三款傳感控制設備，均以非接觸式自動識別技術實現對半導體傳輸物料的精準識別與數據讀取。

RFID Reader系統由標簽、讀寫器和天線組成，常用于在半導體制造過程中對晶圓盒上的射頻標簽進行數據讀寫操作。機臺設備可以通過讀寫射頻標簽上保存記錄的ID、制造批次、制造過程說明等信息，實現晶圓生產過程的追蹤和控制，提高生產效率和產品質量。彌費科技自研的RFID Reader 符合SEMI半導體標準，兼容TI公司的CID載體，讀取距離最大可達到90mm。

SmartTag Reader在8吋晶圓傳送設備Pod Stocker中的通信應用

SmartTag Reader則基于紅外技術實現對標簽信息的讀取，并通過紅外信號向操作員和自動化物料傳送系統（AMHS）提供過程和狀態信息。彌費科技自研的SmartTag Reader符合SEMI半導體標準，使用RS485通信接口，最大工作距離達7cm。

E84傳感器則是基于SEMI E84協議的工作原理，采用IR技術實現生產設備與AMHS之間的高效、可靠晶圓載體自動交換。E84 Sensor不僅提高了晶圓在轉移過程中的安全性和準確性，還通過增強SEMI E23中定義的并行I/O接口能力，支持了更高水平的傳輸可靠性和效率。

E84在天車OHT與晶圓傳送設備Foup Stocker中的通信應用

識別控制系統作為AMHS傳輸與通訊的核心零部件設備，產品的自主可控性對與半導體行業至關重要。彌費科技基于在半導體AMHS整體解決方案領域的技術和市場優勢，專注于開發能夠提升AMHS生產效率與精度的產品。此次發布的AMHS識別控制系統設備不僅在關鍵技術指標上達到國際先進水平，完全自主的知識產權對于客戶來說，意味著更加可靠和穩定的供應鏈保障，有助于降低運營成本和風險，保障生產的連續性和穩定性，增強市場競爭力。

對于AMHS核心零部件領域的深耕，彌費科技不僅能夠更好地滿足客戶需求，同時進一步優化了供應鏈成本和質量，提升了AMHS整體解決方案的競爭力，加速其全球化布局。持續的創新和迭代能力也使彌費科技能夠緊跟行業發展趨勢，快速響應市場變化，彌費科技致力于成為全球半導體AMHS領域的領軍企業，推動半導體制造行業向更加智能、高效的方向發展。