高數(shù)值孔徑 文章 最新資訊

臺積電重申1.4nm級工藝技術(shù)不需要高數(shù)值孔徑EUV

• 臺積電在阿姆斯特丹舉行的歐洲技術(shù)研討會上重申了其對下一代高數(shù)值孔徑 EUV 光刻工具的長期立場。該公司的下一代工藝技術(shù)不需要這些最高端的光刻系統(tǒng)，包括 A16（1.6 納米級）和 A14（1.4 納米級）工藝技術(shù)。為此，TSMC 不會為這些節(jié)點(diǎn)采用 High-NA EUV 工具。“當(dāng)臺積電使用 High-NA 時，人們似乎總是很感興趣，我認(rèn)為我們的答案非常簡單，”副聯(lián)席首席運(yùn)營官兼業(yè)務(wù)發(fā)展和全球銷售高級副總裁 Kevin Zhang 在活動中說。“每當(dāng)我們看到 High-NA 將提供有意義、可衡
• 關(guān)鍵字： 臺積電  1.4nm  高數(shù)值孔徑  EUV