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	虛擬傳感器
        

        
	
        
    	
        
    	  	
        
              	
                                
        
                  

                                
        
                    
        虛擬傳感器的創(chuàng)新助力提升生產(chǎn)力
        
                                                            
                                        
          
                    	
        • 摘要：使用泛林集團Equipment Intelligence?應對腔室匹配挑戰(zhàn) 制造芯片需要很多不同類型的工藝設備，包括沉積、光刻、刻蝕和清潔等設備。大規(guī)模生產(chǎn)要求芯片制造商使用大量相同腔室的設備組來執(zhí)行特定的工藝步驟，例如用于制造3D晶體管的鰭片刻蝕。理想情況下，設備組中的每個晶圓批次都會得到相同的處理，這意味著每個晶圓腔室的運行過程將與其他所有晶圓腔室完全相同。不過在實際操作中，腔室的性能會因許多控制參數(shù)的極微小差異而有所不同，進而影響到工藝流程是否成功。這些參數(shù)包括壓力、溫度、電力輸送和
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        • 關鍵字：
                        虛擬傳感器  泛林                          
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        虛擬傳感器在車輛輪胎壓力測試中的研究
        
                                                            
          
                    	
        • 1前言現(xiàn)代車輛電子信息技術的三大基礎包括：信息采集（傳感器技術）、信息傳輸（通信技術）和信息處理（計算機技術），傳...
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        • 關鍵字：
                        虛擬傳感器  車輛輪胎壓力  速度信號                          
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	共2條
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        虛擬傳感器介紹
        
      			
        
		      	
        
		      			      			      	您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條虛擬傳感器!
         
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