薄膜致動器 文章 進入薄膜致動器技術(shù)社區(qū)

由薄膜致動器驅(qū)動的微型機器人可以變形、鎖定形狀并不受束縛地運行

• 清華大學(xué)的機器人專家團隊與來自北京航空航天大學(xué)的三位同事合作，設(shè)計了一種新型微型機器人，該機器人可以不斷改變其形狀并“鎖定”為特定配置。在他們發(fā)表在《自然機器智能》雜志上的論文中，該小組描述了他們設(shè)計的因素、微型機器人的功能以及它們的可能用途。新型微型機器人功能的關(guān)鍵是該團隊開發(fā)的薄膜形狀小型致動器——它是通過在硅晶片上旋轉(zhuǎn)一層硅膠涂層，然后在基板上轉(zhuǎn)移印刷聚酰亞胺薄膜制成的。然后，使用電子束蒸發(fā)、光刻和銅層的濕法蝕刻添加一層銅。它是用激光切割完成的。當(dāng)添加傳感器、電機和類似樂高積木的積木時，該致動器允許
• 關(guān)鍵字： 薄膜致動器  微型機器人