- 清華大學的機器人專家團隊與來自北京航空航天大學的三位同事合作,設計了一種新型微型機器人,該機器人可以不斷改變其形狀并“鎖定”為特定配置。在他們發表在《自然機器智能》雜志上的論文中,該小組描述了他們設計的因素、微型機器人的功能以及它們的可能用途。新型微型機器人功能的關鍵是該團隊開發的薄膜形狀小型致動器——它是通過在硅晶片上旋轉一層硅膠涂層,然后在基板上轉移印刷聚酰亞胺薄膜制成的。然后,使用電子束蒸發、光刻和銅層的濕法蝕刻添加一層銅。它是用激光切割完成的。當添加傳感器、電機和類似樂高積木的積木時,該致動器允許
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薄膜致動器 微型機器人
薄膜致動器介紹
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