- 邏輯LSI的基本元件——CMOS晶體管的發展估計將在2013年前后15nm工藝達到量產水平時迎來重大轉折點。將由現行的平面型晶體管向具備三維溝道的立體型晶體管過渡。美國英特爾及臺灣臺積電(TSMC)等知名半導體廠商均已開始表現出這種技術意向。LSI的制造技術發生巨變之后,估計也會對各公司的微細化競爭帶來影響。
元件材料及曝光技術也會出現轉折
“估計一多半的半導體廠商都會在15nm工藝時向FinFET過渡”(英特爾)。“在20nm以
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CMOS 15nm 立體晶體管
- 據electronicsweekly網站報道,臺積電公司近日宣稱已經開發出一套采用Finfet雙門立體晶體管技術制作的高性能22/20nm CMOS制程,并已經采用這種制程造出了面積僅0.1平方微米的SRAM單元(內含6個CMOS微晶體管),據稱這種制程生產的芯片產品在0.45V工作 電壓條件下的信號噪聲僅為0.09V。
這種Finfet制程技術采用了雙外延(dual-epitaxy)和多重硅應變(multiple stressors,指應用多種應力源增強溝道載流子遷移率的技術)技術,臺積電宣稱
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臺積電 立體晶體管 20nm
立體晶體管介紹
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