- 近日,電科材料6英寸碳化硅外延片產業化工作取得重大進展,6英寸中高壓碳化硅外延片月產能力實現大幅提升。碳化硅外延片,指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶薄膜的碳化硅片,是用于制造高性能半導體器件的關鍵材料。電科材料持續布局第三代半導體外延材料研發生產,實現一系列技術突破,在碳化硅外延領域,完成6英寸3300V碳化硅外延材料研發。同時,積極與國產設備廠商合作開發生產裝備,推動碳化硅核心裝備國產化。未來,電科材料將持續創新突破,推出更多高端碳化硅材料產品。
- 關鍵字:
電科材料 6英寸 碳化硅
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