- 一、前言 硅微機械傳感器是用半導體硅加工工藝實現的傳感器。體積小使其獲得廣泛的應用前景。但是由于體積小，微小的絕對機械誤差卻產生較大的相對誤差，帶來運動交互干擾，即機械耦合問題。電容式硅微機械陀
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機械耦合 電容式 硅微 讀取
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