- 中國臺灣自研重點放在半導體關鍵材料自主化,9家廠商年底將進行終端產線驗證。 最快明年深紫外光(DUV)曝光機的光阻劑核心材料,可打入臺積電、聯電等代工大廠產線中。微影制程是在晶圓上制作電路圖案,隨著精細度有DUV、EUV(極紫外光)差別。 光阻劑是一種光敏感材料,由樹脂、光敏感劑、溶劑和添加劑等組成,乃微影不可或缺重要材料。 至于曝光機的光罩部份,島內像是家登都有生產,比例已不低。但過去晶圓代工制程曾發生過光阻劑大缺貨,為了把關鍵材料掌握在自己手中,島內推動兩期半導體先進制程與封裝材料研發。 第一期202
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DUV 曝光機 光阻劑 臺積電 聯電
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