- 歐書俊，張國俊，王姝婭，戴麗萍，鐘志親（電子科技大學 電子薄膜與集成器件國家重點實驗室，四川 成都 611731） 摘 要：本文針對一字型懸臂梁RF MEMS開關，提出了兩種降低驅動電壓RF MEMS開關的方法，分別為：增大局部驅動面積和降低彈性系數。根據這兩種方法設計了4種形狀的懸臂梁開關，分別為增大局部驅動面積的十字型梁，降低彈性系數的三叉戟型、蟹鉗型和折疊型梁。在梁的長度、厚度和初始間隙等參數一致的情況下，通過CMOSOL軟件建模仿真得到了這4種懸臂梁的驅動電壓，分別為7.2 V、5.6 V、
- 關鍵字：
202007 RF MEMS 懸臂梁 驅動電壓 彈性系數
- 以懸臂梁為基本構架，以FBG為敏感元件，設計了一種新型的具有溫度自補償特性的FBG位移傳感器方案。對懸臂梁進行分析，推導出位移傳感器的傳遞函數，然后對其定標并實際測量，得到了傳感器線性度和靈敏度同懸臂梁長度以及光纖布拉格光柵的位置之間的關系，并從結果看出本傳感器精度高，運行穩定，且有好的重復性，線性范圍最大為16mm。
- 關鍵字：
光纖光柵 懸臂梁 位移傳感器 傳遞函數 溫度自補償
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