- 介紹了一種田字形單質量塊三軸電容式微加速度計的設計與仿真。該加速度計以SOI晶圓作為基片，經過氧化、光刻、干法刻蝕和濕法刻蝕等工藝步驟得到。通過支撐梁和3個軸的敏感結構的巧妙設計，有效避免了平面內和垂直方向的交叉軸干擾的影響，并提高了Z軸的靈敏度。通過差分電容的設計，理論上消除了交叉軸干擾。通過仿真得到了該加速度計在3個軸向上的靈敏度及抗沖擊能力。結合理論分析和ANSYS仿真結果，可以得出結論：所設計的加速度計擁有較低的交叉軸干擾、較高的靈敏度以及較強的抗沖擊能力，在慣性傳感器領域有一定的應用前景。
- 關鍵字：
微加速度計 SOI 交叉軸干擾 靈敏度
- 摘要：為彌補多媒體教學中激光筆的不足，提出了一種基于微加速度計的無線教鞭系統，它不僅具有激光筆上下翻頁的功能，而且能在空中自由靈活移動實現高精度點擊的功能，該系統以微加速度計ADXL345作為信號檢測元件，并采用低功耗低成本微控制器AT89S52和RF芯片nRF24 L01進行信息處理與無線傳榆，符合人體工程學設計，最大限度地滿足人們使用鼠標時在手感以及舒適度和使用習慣方面的要求。
目前多媒體教學或會議演示中已經用到無線教鞭，但是更多的只能用來文檔的翻頁，所以使用時還得配合有線或無線的鼠標，正由
- 關鍵字：
無線教鞭系統 微加速度計 ADXL345
- 摘要：基于常用的MEMS慣性器件微型加速度計，介紹一種采用ARM和FPGA架構來采集加速度數值的設計方案，微加速度計的模擬輸出信號經A／D芯片轉換后由FPGA進行處理和緩存，然后ARM接收FPGA的輸出數據并對數據進行顯示和
- 關鍵字：
FPGA ARM 微加速度計 數據采集
- 1 引言
隨著硅微機械技術的不斷發展，基于壓阻原理的微加速度計已成為商品。由于硅的機械性能優良，這些微加速度計往往具有較高的抗過載能力。然而，有些物理過程存在相差上百倍的多個加速度值需要測量，需要測
- 關鍵字：
復合量程 動態特性 分析 微加速度計
微加速度計介紹
微加速度計是指加速度計與微電子機械系統（MEMS）相結合的一種用于測量加速度變化量的裝置，也叫MEMS加速度計。它是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力，能夠及時分析物體運動狀態，通過微電子機械系統測量出物體的運動狀態及軌跡。 微加速度計按檢測方式，可分為壓阻式、電容式、隧道式、共振式、熱形式等幾種。 1. 壓阻式加速度計：通過在質量塊的支撐（suspension）上嵌有壓敏電阻來感應質量 [
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