顏重光：國內MEMS加工工藝仍然存在差距

　　作為中國最早做傳感器的專家之一，上海傳感器協會秘書長顏重光表示如今國內MEMS產業化仍然不夠成熟，尤其是加工方面與國外存在著較大差距。

　　顏重光指出，MEMS與機械類傳感器相比，精度相對差一些，主要是由于半導體自身的溫度特性有關，但如果與單片機配合進行漂移補償，可以相應的增加精度。并且由于MEMS產品可以大批量生產，成本比較低因此非常適合消費類產品的應用。

　　但其同時談到，盡管伴隨著MEMS應用增加出貨量成倍增長，量產起來仍然困難。主要原因是MEMS的加工方式與普通芯片不同，芯片為單面腐蝕而MEMS需要雙面腐蝕，因此需要增加相應的加工設備。

　　由于國內芯片加工工藝水平的不斷上升，晶圓廠陸續上馬8寸、12寸生產線，此時4寸生產線面臨著淘汰，“與其擱置4寸生產線不如將其改造為MEMS生產線。”顏重光建議道。

　　在其最新的一篇文章中詳細分析了4寸生產線更新所需要的成本，可以看出轉產MEMS可以產生更多的利潤。不過顏重光表示，“實際上國內進行轉產的企業并不多。MEMS與集成電路是截然不同的市場，很多人無法轉變觀念。”

　　MEMS由于內部結構不一樣，因此需要多樣化加工方式，包括陀螺儀里面的齒輪、壓力傳感器的薄膜或者梁結構、加速度計中的質量塊或者氣泡等形式。因此這就給foundry廠帶來很大困難，很難有標準化工藝。盡管目前包括中芯國際等foundry都有MEMS代工業務，但也只限于針對生產線準備有MEMS制造工藝清單。因此，目前企業仍然自己開發工藝后交給foundry進行生產。

　　此外，顏重光還建議MEMS廠商在整體方案提供上也應繼續加強。