掩模版：產業鏈合作圖共贏 打破壟斷盼扶持

　　作為轉移微細圖形的工具，掩模版是TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)制造過程中必不可少的材料，對TFT產業至關重要。由于當前掩模版市場主要被國外企業所壟斷，我國要發展TFT產業，掩模版的國產化顯得尤為重要。

　　掩模版是產業鏈重要環節

　　和集成電路的生產一樣，TFT-LCD在制造過程中也需要利用光刻工藝把沉積在基板上的薄膜(金屬、介質或透明導電玻璃等)制作成一定的圖形，這種圖形轉移的母版就是掩模版。對于一種產品而言，其生產過程中有多少次光刻就需要多少張不同圖形的掩模版。

　　TFT-LCD與集成電路的區別在于，除了在陣列基板上制作晶體管時需要利用光刻工藝之外，彩色濾光片的制作同樣會用到掩模版。湖南普照信息材料有限公司總經理王佳悅在接受《中國電子報》記者采訪時表示，在TFT-LCD制造過程中，光刻掩模版的作用相當于照相的“底片”，面板廠商通過曝光的方式把掩模版上的圖形批量復制到最終的產品上，實現微細圖形的轉移。因此，作為母版的掩模版的質量，在很大程度上決定了TFT-LCD最終產品的質量，任何一個不起眼的瑕疵都有可能給面板廠商帶來巨大的損失。正因為如此，掩模版在TFT-LCD生產中具有承上啟下的關鍵作用，是產業鏈中不可或缺的重要環節。“作為掩模版的基材，掩模基版(勻膠鉻版)的作用則相當于照相的空白‘膠卷’，經過光刻工藝將微細電子圖形刻蝕于其上，制作成‘底片’———掩模版。”王佳悅以形象的比喻對記者介紹了掩模基版的作用。他表示，作為光掩模加工過程中不可替代的關鍵基礎材料，勻膠鉻版的質量又成為能夠左右掩模版質量的關鍵因素，換言之，勻膠鉻版雖只是一種上游配套材料，但其質量對于終端應用產品而言也是至關重要的。

　　國產化是必然選擇

　　盡管掩模版及其基材在產業鏈中的重要性早已得到業界的公認，但對于有志于打造完整的平板顯示產業鏈的中國大陸而言，掩模版及其基材還是一個薄弱環節。Micronic公司大中華區及美國區經理戴曉兵告訴《中國電子報》記者，目前，全球每年近6億美元的顯示器(包括電視、電腦顯示屏、手機等)掩模版市場為日韓廠商所掌控，其中日本廠商占絕對多數，達到68%，其次為韓國廠商，在30%以上，我國臺灣地區廠商只占0.5%的份額，而中國大陸的份額只有0.1%。日本和韓國公司對中國市場極為關注，有兩家公司已在中國大陸購置土地，只待時機成熟，即可在中國大陸建廠，搶占商機。

　　在掩模版基材方面，中國同樣缺乏競爭力。由于勻膠鉻版的生產工藝流程涉及精細拋光、清洗、鍍膜、勻膠等多個不同高技術領域，且對凈化要求極為苛刻(比如生產大尺寸石英掩模基版對鍍膜裝片室的凈化要求高達0.1μm1級)，因此長期以來其生產技術一直被掌控在美國、日本及韓國等少數幾個廠家手中，加之隨著下游應用產品不斷升級換代，對掩模版在尺寸、精度等方面也提出了更高要求，一直以來國內廠家很難打破這一技術壁壘。從我國TFT-LCD產業的發展趨勢和當前掩模版環節的國際競爭態勢來看，掩模版及其基材的國產化已是迫在眉睫。