提升產業鏈競爭力 中國掩模版邁向高世代

　　從表面上看，第8代和第5代掩模版的精度要求相當，但8代掩模版尺寸為 1220mm ×1400mm，面積特別大，達到1.7m 2，是第5代掩模版面積的4.1倍，因此實現同等的技術指標的難度系數要大很多，這在CD精度、TP精度、缺陷等三大技術指標上都有所體現。

　　從CD精度來看，第8代掩模版面積約為第5代掩模版面積的4倍，但圖形關鍵尺寸的絕對精度誤差指標仍為小于±0.35μm，面積增大之后，CD精度要滿足要求，其工藝難度就隨之增大。

　　從TP精度來看，雖然TP絕對精度指標要求都為小于±0.50μm，但根據其實際長度和面積換算，第5代掩模版等比允許其位置精度累計在90nm/100mm左右的水準，而第8代掩模版等比僅允許位置精度誤差累計在40nm/100mm左右的水準，精度要求提升了一倍。

　　從缺陷指標來看，第8代掩模版面積大，因此缺陷概率肯定增大，工藝控制難度增加。

　　邁向高世代促進產業鏈發展

　　目前全球TFT-LCD用掩模版供貨廠家主要為日本的HOYA、SKE，韓國的LGMi-cron、PKL，以及我國臺灣地區的AIPC公司。在中國大陸，清溢光電在成功研制5代TFT-LCD用掩模版后，成為全球第6家具備TFT掩模版生產能力的廠家。

　　就銷售額來說，HOYA在掩模版市場上處于主導地位，占全球份額的28%。其他如SKE和韓國LGM、PKL由于積極開發大尺寸掩模版，也占有了相當大的份額。中國大陸的掩模版產業尚處于起步階段，但由于大陸面板產業的蓬勃發展，給清溢光電帶來了前所未有的機遇，清溢光電所擁有的成本和本地化的優勢都將使其市場占有率得到很大提升。

　　清溢光電作為中國大陸第一家專業掩模版公司，與國外同行相比，清溢光電TFT-LCD用掩模版在國內競爭優勢明顯。通過發揮政策優勢、價格優勢、成本優勢、服務優勢、區域優勢和品牌優勢，構建清溢光電的競爭策略，預計2014年可實現銷售收入5億元。

　　在國家對彩電產業結構進行調整的背景下，在打造相對完整的平板彩電產業鏈的目標引導下，清溢光電將在已量產的第 5代TFT-LCD掩模版生產線的基礎上，建設國內首條第8代TFT-LCD用掩模版生產線項目，這將避免國內第8代TFT-LCD用掩模版依賴進口，對于促進我國TFT-LCD產業鏈的發展、提升產業鏈競爭力具有重要的戰略意義。該高世代掩模版項目將帶動石英玻璃基材、保護膜、平板顯示器件生產專用設備等上游產業發展，并推動下游彩色濾光片、液晶面板技術的進步。