明基成功開發新一代MEMS噴墨單芯片

   明基電通(BenQ)日前發表新一代應用微機電(MEMS)整合之噴墨單芯片產品，這是該公司自2005年起執行工業局前瞻應用主導性新產品計劃的研究成果，隨著新一代產品的開發完成，明基希望能藉此開拓更多打印機ODM代工的商業機會。     

    明基電通公司前瞻技術中心微流技術研發部副理曾繁中表示，明基最早是從2000年起便開始研發第一代的噴墨單芯片，到2003年完成第一張六色彩色打印，并于2004年開始量產墨盒組及噴墨打印機。    


    他指出，第一代產品設計是采取背噴式架構，已應用于該公司包括CM3500/3700等型號的多功能事務機。但由于此架構是在2000年就已定好，規格已經有點老舊，為了進一步提升性能與成本競爭力，便于2005年7月通過經濟部工業局的前瞻應用主導性新產品計劃申請，開始進行第二代芯片的研發，希望能提供更精微的墨滴輸出以及高頻率操作頻率。     

    曾繁中表示，不管是第一代還是第二代的產品，該公司一開始研發噴墨頭芯片時，就采取整合MEMS與MOS驅動電路技術的單石化噴墨單芯片架構，這與目前市場上有些廠商是采取MEMS、CMOS分別制造，再組裝在一起的方式有所不同。     

    就第一代與第二代的規格比較，曾繁中說，以墨滴體積來看，從5.5pl縮減到4pl、操作頻率則從18KHz提升到24KHz。此外，由于將四色噴嘴全部設計在單一芯片上，因此噴嘴數從432個大幅增加到960個，整個throughput從每秒780萬個墨滴增加到2300萬個，整體效能獲得很大的提升。     

    曾繁中指出，第二代架構改良了之前的背噴式設計，改采先在表面上涂覆犧牲層，再以干蝕刻制程技術將墨水腔挖出來。     

    此一為期21個月的計劃工業局共補助了2000萬元的經費，但明基所投入的資金為5800萬元。除了產品的開發完成，希望能帶來新的商業機會外，在研究成果方面，明基共發表了國內外8篇論文，以及申請了22個國內專利。     

    曾繁中指出，目前明基并不計劃以此噴頭進行自有品牌的打印機產品開發，而是先以ODM代工業務為主。他表示，從2002年起，該公司的第一代噴頭就已經為品牌業者代工了約15個機種，出貨量已達到1000萬臺。新的噴墨頭開發完成后，目前已經開始與日系業者進行代工業務的洽談。     

    談到國內的微機電產業，曾繁中也表示，其實國內的MEMS產業的規模與能力都相對弱勢。目前其噴墨頭芯片是委由亞太優勢(APM)制造，他也期望能夠透過這樣的分工與合作模式，共同提升國內微機電產業的競爭力。     

    針對近來MEMS應用在消費性市場的趨勢，曾繁中也指出，目前明基的微流技術研發部門大約有20人，除了噴墨頭的技術開發之外，也將開始著手研究有關MEMS加速度計的開發。