應用材料：MEMS市場的爆發促使200mm市場持續增長

　　日前在上海舉辦的第二屆MIG亞洲會議上，Yole Développement調查數據指出，從2000年到2020年間，MEMS市場將保持20年的連續增長，MEMS產品的市場規模將在2020年超過250億美元，是2000年的5倍。MEMS傳感器市場的爆發，將成為帶動物聯網市場前進的重要因素。

　　站在半導體供應鏈的最上游，也許我們能夠更清楚地看出MEMS市場的發展方向，集微網與全球最大的半導體制造設備廠商美國應用材料公司的兩位專家，戰略和技術營銷總監Michel Rosa博士和全球服務產品事業部設備產品部200mm半導體及動力輔助設備部門的副總裁兼總經理原錚博士，從設備廠商的角度看MEMS市場的發展方向。

　　200mm設備中國市場連續三年增漲

　　原錚博士一開場便用實際數據給出應用材料公司在中國市場的發展情況，“我們看到200mm設備在亞太區的銷售額，從2013年的1500萬美元，到2014年的2000萬美元，到2015年的5000萬美元，連續三年時間實現增長。與全球市場的發展速度相比，應材亞太區的市場有了顯著增長，尤其是中國大陸和臺灣地區。”

　　MEMS市場在應材的地位已不同往日，三年的時間變化巨大，從默默無聞到不可忽視，該領域今年的營收較去年有三倍的爆發性增長，占全球收入15%。當然，這其中包括了150mm和200mm的設備，甚至開始有公司在嘗試進入300mm，這要在兩年前我根本不會相信。

　　目前，從客戶角度來考量，在MEMS、FLASH、MCU、模擬IC、RF領域的設備選擇上看，無論是200mm還是300mm都不是技術問題，更多是基于成本考慮。一般來看，200mm設備的節點在0.18um~0.13um，極限最多到90nm，300mm一般來說40nm～50nm的工藝更劃算。如果說200mm繼續保持現有技術極限的話，需要在產品應用上作改變。

　　據原錚博士透露，在現有200mm向300mm的設備推進中，我們還積極投入研發在200mm~300mm間的產品以尋求更高的性價比。Michel認為，以現有市場來看，200mm仍然是生產傳感器，MCU，包含模擬器件的MEMS產品的主要設備，還將持續保持增長，MEMS市場的爆發將創造更多經濟價值，應材也會持續投入200mm設備的研發，迎接MEMS市場中新的挑戰。

　　以應用為導向 推進中國MEMS市場前進

　　近年來，全球智能手機市場一直以超過10%的速度保持增長，每年超過10億部的手機銷往全球各地，中國是全球智能手機最大的市場。原錚博士講道，以iPhone 6為例，76個設備芯片中有66個是200mm的，其中有15～16個MEMS芯片，所以200mm是當前主流的制造設備，同時看到MEMS部分的增長非常快。

　　在國外有這樣一家公司，他們將RFID打在牛的身上就可以以知道牛的具體位置。這是一家市值數十億的公司的小小的一個技術領域，MEMS的應用市場非常大，對于中國來說機會更多，“因為中國人天生對未知的東西特別感興趣，有好奇心。”原錚博士講道，拿PM2.5為例，在中國每個人都非常敏感，但是美國人并不清楚“PM2.5”。Michel用詫異的眼光看著筆者，原錚博士笑談，“我說的沒錯吧!”

　　中國MEMS企業需要向歐洲企業學習，創造一個平臺來提升技術，這才是現階段最重要的。“以PM2.5為例，如果你沒有一個基本的技術平臺，估值都不準確，那就完了，PM2.5今天是2.5過兩天變成3了。”原錚博士解釋道，“僅僅靠價格戰是不足推進市場進步的。物聯網市場的多樣性可變性很多，以應用為導向的東西說實話是我們的強項。”

　　隨著Apple Watch問世，更多穿戴產品進入人們的日常生活，2015年被喚稱為可穿戴的天下，但實際看上去卻并不成功。原錚表示，問題在于你不能將同樣的設備既用在手機上，又用到手表上，不希望身上帶有太多的設備。就像博世Sensortec亞太區總裁Leopold Beer說的一樣，穿戴產品才剛剛起步，甚至連物聯網都還沒有有開始，像谷歌眼鏡、手環啊，還沒有統一的標準和技術規格，目前只是早期試驗階段。

　　新技術新服務 尋求新價值

　　今年，全球半導體廠商走在并購的道路上，設備商也開始逐漸集中。從并購角度來看，整個市場的產能并沒有擴充，如果繼續合并的話，這個對設備公司來說是有一定壓力的。原錚認為，應材在半導體領域仍舊保持領導者地位，目前在營收上暫時沒有感覺到任何變化。

　　原錚表示，第一波MEMS產品的發展，從DRIE，bonder等主要工藝開始朝向新材料的方向發展，包括PSO壓電材料這些部分是我們的強項，領先的300mm在平板顯示這些行業都是使用新的材料工藝。另一方面，我們可以開發新工藝給客戶使用，例如原先的設備并非用來做MEMS，但因MEMS需要某種特殊應用，比如氮化鋁，氮化鋁并不是半導體的標準的產品，我們可以開發這種工藝，提供設備和工藝給客戶使用。

　　對于設備廠商來說，增加價值和增強服務是企業提升利潤的兩個方向。原錚回答道，整體市場在逐漸發展，設備的起伏可能較大，但服務部分比較穩定。隨著整體市場的逐漸發展，像我們公司3萬多臺設備，服務將成為很大的一塊市場。比如說設備要維修需要8小時，我們只要4個小時，這就是在提升單位時間的生產量。另外，提高生產率是增加價值的最重要的途徑，我們最近開發一個應用在高功率機械的產品，需要100個小型芯片，我們開發出快速增加產量的產品，就是在同等時間下增加價值，讓客戶得到更多好處。