黃河公司啟動國家科技重大專項電子級多晶硅材料研發
9月16日,國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》(即:國家02專項)電子級多晶硅材料研發工作在黃河公司新能源分公司啟動。
本文引用地址:http://www.104case.com/article/263318.htm該項目由黃河公司新能源分公司和光伏技術中心共同承擔,針對40納米集成電路用12英寸硅單晶產品進行研發。公司2500噸/年多晶硅項目是2014年工信部正式公布的109家符合《光伏制造行業規范條件》的首批企業之一,也是全國唯一一家能夠生產半導體級一等品多晶硅的企業,成功填補了國內半導體應用材料的空白。
此次黃河公司承擔的40納米集成電路用12英寸硅單晶產品對純度和其參數有嚴格要求,該項目是通過精餾系統和還原爐系統生產過程中關鍵技術研究及工藝改進,來提高中間產品純度,并通過完善對中間產品和氫氣等關鍵材料的分析方法實現全過程質量控制,完成產品質量整體提升,預計2016年12月完成。項目的成功實施將打破中國40納米集成電路用12英寸硅單晶產品完全依靠國外進口的歷史。
據悉,公司申報的國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》(02專項)電子級多晶硅材料研發項目于今年5月26日由專項實施管理辦公室正式批復同意,該項目將通過事后立項事后補助的方式,獲得國家財政補助。
新聞鏈接:02專項,即:《極大規模集成電路制造技術及成套工藝》項目,因次序排在國家重大專項所列16個重大專項第二位,在行業內被稱為“02專項”。
重大專項是為了實現國家目標,通過核心技術突破和資源集成,在一定時限內完成的重大戰略產品、關鍵共性技術和重大工程,是我國科技發展的重中之重。《國家中長期科學和技術發展規劃綱要(2006-2020)》確定了核心電子器件、高端通用芯片及基礎軟件,極大規模集成電路制造技術及成套工藝,新一代寬帶無線移動通信,高檔數控機床與基礎制造技術,大型油氣田及煤層氣開發,大型先進壓水堆及高溫氣冷堆核電站,水體污染控制與治理,轉基因生物新品種培育,重大新藥創制,艾滋病和病毒性肝炎等重大傳染病防治,大型飛機,高分辨率對地觀測系統,載人航天與探月工程等16個重大專項,涉及信息、生物等戰略產業領域,能源資源環境和人民健康等重大緊迫問題,以及軍民兩用技術和國防技術。
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