如何制作低溫環境下使用電阻應變式傳感器
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(3) 低溫下防護劑對提高傳感器穩定性有極重要作用。傳感器應用場合，彈性體表面應變片溫度由室溫逐漸致冷介質注入而降低。彈性體冷卻過程中，將空氣中微量水分吸附彈性體表面，形成白霜。當傳感器經受周期性溫度變化時，應變片表面白霜熔化成水分，使應變片、膠粘劑吸收水分而使絕緣電阻發生變化（降低），引起傳感器零漂，蠕變、滯后增大，嚴重時會使傳感器失效。
深低溫下防護劑一般不宜采用室溫下常用防護劑，這是某些室溫防護劑其硬度會隨溫度降低而增加，形成一定加強效應，低溫下也易發生脆裂等現象，，傳感器用應變片防護劑，一般可采用粘貼應變片貼片膠如改性環氧 - 酚醛膠， PPS 膠（聚苯硫醚）等，應變片表面上均勻涂上一薄層，經固化后再涂一、二次，然后最終固化處理，然后其表面均勻涂上一層硅脂，這樣就可保證其性能穩定了。
其調整和補償工作比較簡單；但變溫環境條件下使用傳感器其補償技術要求相對要高和嚴格多。
由前述可知， Ni-Cr 系合金電阻溫度系數 ( a R ) 可以調整合金成分和熱處理工藝來加以調節 ，可制作適用于不同彈性體材料溫度自補償應變片，減小傳感器溫度影響，提高傳感器性能指標。， Ni-Cr 系合金低溫環境下 (10~20K) 其熱輸出出現逆轉現象，即謂近藤效應（如圖 7 ）。
由圖可見， KFL 型應變片（ Ni-Cr 系合金，聚酰亞胺基底） 200K 附近，其熱輸出為零，此以下溫度時，呈現負輸出。 WK 型應變片（玻璃纖維增強環氧 - 酚醛基底， Ni-Cr 系合金）， 10~20K 左右熱輸出為最小值，其后由負變為正輸出， 4.2K 時有正最大熱輸出。 Ni-Cr 系合金 10~20K 溫度區間，這種逆轉變化，給傳感器零點溫漂補償帶來一定困難，減小這種影響，選用應變片時應盡量選用具有溫度自補償。同一批應變片，有條件時可對應變片溫度特性進行預選，以提高橋路補償效果。
三、低溫電阻應變式傳感器性能試驗裝置
低溫電阻應變式傳感器各項性能參數必須低溫環境下進行測定，如何獲低溫環境和保持低溫環境這是試驗工作重要環節。
1 、低溫環境條件獲
低溫試驗時，絕大多數情況下，是應用各種致冷劑來達到預定試驗溫度，當要求溫度介于兩種冷劑溫度之間時，可選用較低溫度冷劑，以噴淋或輻射形式來獲取所需溫度，具體方法應試驗要求來確定。至于貯存冷劑容器常采用金屬杜瓦瓶或玻璃杜瓦容器。目前常用冷劑及其可達到溫度列于表 2 。
研究電阻應變式壓力傳感器低溫下 (77~300K) 性能參數，典型試驗裝置及測試系統如圖 8 所示，整個裝置由四個部分組成。
②壓力源及測壓系統。該系統由高壓氮氫瓶、減壓閥、標準壓力表、低溫壓力腔、放氣閥及連接管道等組成。
③溫度測量和控制系統。低溫壓力腔及傳感器溫度由銅 - 康銅熱電偶測定。壓力腔及傳感器溫度系統由鉑電阻溫度計、加熱器及低溫控溫儀等組成。
④壓力傳感器信號變換及顯示系統。該系統由電阻應變式壓力傳感器、動態電阻應變儀和數字電壓表等組成。
為標定引伸計低溫下 (4.2~300K) 性能，其典型試驗裝置如圖 9 所示。該系統試驗溫度要按使用條件分階段進行（如 300K 、 77K 、 20K 、 4.2K 等），該系統主要包括：
①標定機構。校準器采用專供校準引伸計用螺旋千分尺，引伸桿置于低溫杜瓦中，其上可安裝被校引伸計。
②低溫介質容器。盛置低溫介質容器是由內外兩個玻璃杜瓦組成。內杜瓦與上法蘭盤之間用不銹鋼連接內罩相連，內杜瓦連接罩間由二道真空橡皮密封。內外杜瓦及標定機構重量是由外框架承擔。
③溫控系統。調節試驗溫度，裝置引伸計刀口兩側裝有變溫加熱器，其功率約為 0.3W 。下加熱器是為調節上部空間溫度及烘干液氦之用，它位于標定機構下端，功率為 0.35W 。測溫元件可采用金 - 鐵熱電偶或鉑電阻溫度計。
④位移測量系統。引伸計變形測量是由動態電阻應變儀和 x-y 記錄儀組成。
四、結束語
一般市售各種電阻應變式傳感器，只能適用于常溫環境（ -20 ° C~+60 ° C 或 -40 ° C~+80 ° C ），高溫或低溫環境下使用各種電阻應變式傳感器，往往需要自行進行設計制作。本文主要介紹電阻應變片低溫下特殊性能，設計人員能更好利用其特點，制作各種性能好傳感器，目前低溫下常用電阻應變式傳感器主壓力和位移等傳感器，確認各種傳感器低溫下性能，文中也簡要介紹了低溫下壓力和位移傳感器標定系統，以供有關人員參考。
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