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        霍爾傳感元器件及其應用

        作者: 時間:2011-03-24 來源:網(wǎng)絡 收藏
        1、 引言

        霍爾器件是一種磁。用它們可以檢測磁場及其變化,可在各種與磁場有關的場合中使用。霍爾器件以霍爾效應為其工作基礎。

        霍爾器件具有許多優(yōu)點,它們的結(jié)構(gòu)牢固,體積小,重量輕,壽命長,安裝方便,功耗小,頻率高(可達1MHZ),耐震動,不怕灰塵、油污、水汽及鹽霧等的污染或腐蝕。霍爾線性器件的精度高、線性度好;霍爾開關器件無觸點、無磨損、輸出波形清晰、無抖動、無回跳、位置重復精度高(可達μm級)。取用了各種補償和保護措施的霍爾器件的工作溫度范圍寬,可達-55℃~150℃。

        按照霍爾器件的功能可將它們分為:霍爾線性器件和霍爾開關器件。前者輸出模擬量,后者輸出數(shù)字量。

        按被檢測的對象的性質(zhì)可將它們的應用分為:直接應用和間接應用。前者是直接檢測出受檢測對象本身的磁場或磁特性,后者是檢測受檢對象上人為設置的磁場,用這個磁場來作被檢測的信息的載體,通過它,將許多非電、非磁的物理量例如力、力矩、壓力、應力、位置、位移、速度、加速度、角度、角速度、轉(zhuǎn)數(shù)、轉(zhuǎn)速以及工作狀態(tài)發(fā)生變化的時間等,轉(zhuǎn)變成電量來進行檢測和控制。

        2、 霍爾效應和霍爾器件

        2.1 霍爾效應

        如圖1所示,在一塊通電的半導體薄片上,加上和片子表面垂直的磁場B,在薄片的橫向兩側(cè)會出現(xiàn)一個電壓,如圖1中的VH,這種現(xiàn)象就是霍爾效應,是由科學家愛德文?霍爾在1879年發(fā)現(xiàn)的。VH稱為霍爾電壓。

        佳工機電網(wǎng)
        (a)霍爾效應和霍爾元件

        這種現(xiàn)象的產(chǎn)生,是因為通電半導體片中的載流子在磁場產(chǎn)生的洛侖茲力的作用下,分別向片子橫向兩側(cè)偏轉(zhuǎn)和積聚,因而形成一個電場,稱作霍爾電場。霍爾電場產(chǎn)生的電場力和洛侖茲力相反,它阻礙載流子繼續(xù)堆積,直到霍爾電場力和洛侖茲力相等。這時,片子兩側(cè)建立起一個穩(wěn)定的電壓,這就是霍爾電壓。

        在片子上作四個電極,其中C1、C2間通以工作電流I,C1、C2稱為電流電極,C3、C4間取出霍爾電壓VH,C3、C4稱為敏感電極。將各個電極焊上引線,并將片子用塑料封裝起來,就形成了一個完整的霍爾元件(又稱霍爾片)。

        佳工機電網(wǎng)佳工機電網(wǎng)

        在上述(1)、(2)、(3)式中VH是霍爾電壓,ρ是用來制作霍爾元件的材料的電阻率,μn是材料的電子遷移率,RH是霍爾系數(shù),l、W、t分別是霍爾元件的長、寬和厚度,f(I/W)是幾何修正因子,是由元件的幾何形狀和尺寸決定的,I是工作電流,V是兩電流電極間的電壓,P是元件耗散的功率。由(1)~(3)式可見,在霍爾元件中,ρ、RH、μn決定于元件所用的材料,I、W、t和f(I/W)決定于元件的設計和工藝,霍爾元件一旦制成,這些參數(shù)均為常數(shù)。因此,式(1)~(3)就代表了霍爾元件的三種工作方式所得的結(jié)果。(1)式表示電流驅(qū)動,(2)式表示電壓驅(qū)動,(3)式可用來評估霍爾片能承受的最大功率。

        為了精確地測量磁場,常用恒流源供電,令工作電流恒定,因而,被測磁場的磁感應強度B可用霍爾電壓來量度。

        在一些精密的測量儀表中,還采用恒溫箱,將霍爾元件置于其中,令RH保持恒定。

        若使用環(huán)境的溫度變化,常采用恒壓驅(qū)動,因和RH比較起來,μn隨溫度的變化比較平緩,因而VH受溫度變化的影響較小。

        為獲得盡可能高的輸出霍爾電壓VH,可加大工作電流,同時元件的功耗也將增加。(3)式表達了VH能達到的極限——元件能承受的最大功耗。

        2.2 霍爾器件

        霍爾器件分為:霍爾元件和霍爾集成電路兩大類,前者是一個簡單的霍爾片,使用時常常需要將獲得的霍爾電壓進行放大。后者將霍爾片和它的信號處理電路集成在同一個芯片上。

        2.2.1 霍爾元件

        霍爾元件可用多種半導體材料制作,如Ge、Si、InSb、GaAs、InAs、InAsP以及多層半導體異質(zhì)結(jié)構(gòu)量子阱材料等等。

        InSb和GaAs霍爾元件輸出特性見圖1(a)、圖1(b).

        佳工機電網(wǎng)
        (a)霍爾效應和霍爾元件

        佳工機電網(wǎng)
        (b)InSb霍爾元件的輸出特性

        佳工機電網(wǎng)
        (c)GaAs霍爾元件的輸出特性
        圖1 霍爾元件的結(jié)構(gòu)和輸出特性

        這些霍爾元件大量用于直流無刷電機和測磁儀表。

        2.2.2.1 霍爾線性電路

        它由霍爾元件、差分放大器和射極跟隨器組成。其輸出電壓和加在霍爾元件上的磁感強度B成比例,它的功能框圖和輸出特性示于圖2和圖3。

        佳工機電網(wǎng)

        佳工機電網(wǎng)
        圖2 霍爾線性電路的功能框圖

        佳工機電網(wǎng)
        圖3 霍爾線性電路UGN3501的磁電轉(zhuǎn)換特性曲線

        這類電路有很高的靈敏度和優(yōu)良的線性度,適用于各種磁場檢測。霍爾線性電路的性能參數(shù)見表3。

        2.2.2.2 霍爾開關電路

        霍爾開關電路又稱霍爾數(shù)字電路,由穩(wěn)壓器、霍爾片、差分放大器,斯密特觸發(fā)器和輸出級組成。在外磁場的作用下,當磁感應強度超過導通閾值BOP時,霍爾電路輸出管導通,輸出低電平。之后,B再增加,仍保持導通態(tài)。若外加磁場的B值降低到BRP時,輸出管截止,輸出高電平。我們稱BOP為工作點,BRP為釋放點,BOP-BRP=BH稱為回差。回差的存在使開關電路的抗干擾能力增強。霍爾開關電路的功能框見圖4。圖4(a)表示集電極開路(OC)輸出,(b)表示雙輸出。它們的輸出特性見圖5,圖5(a)表示普通霍爾開關,(b)表示鎖定型霍爾開關的輸出特性。

        佳工機電網(wǎng)
        (a) 單OC輸出 (b)雙OC輸出
        圖4 霍爾開關電路的功能框圖

        佳工機電網(wǎng)
        (a)開關型輸出特性 (b)鎖定型輸出特性
        圖5 霍爾開關電路的輸出特性

        一般規(guī)定,當外加磁場的南極(S極)接近霍爾電路外殼上打有標志的一面時,作用到霍
        爾電路上的磁場方向為正,北極接近標志面時為負。

        鎖定型霍爾開關電路的特點是:當外加場B正向增加,達到BOP時,電路導通,之后無論B增加或減小,甚至將B除去,電路都保持導通態(tài),只有達到負向的BRP時,才改變?yōu)榻刂箲B(tài),因而稱為鎖定型。

        2.2.2.3 差動霍爾電路(雙霍爾電路)

        它的霍爾電壓發(fā)生器由一對相距2.5mm的霍爾元件組成,其功能框圖見圖6。

        佳工機電網(wǎng)
        圖6 差動霍爾電路的工作原理圖

        使用時在電路背面放置一塊永久磁體,當用鐵磁材料制成的齒輪從電路附近轉(zhuǎn)過時,一對霍爾片上產(chǎn)生的霍爾電壓相位相反,經(jīng)差分放大后,使器件靈敏度大為提高。用這種電路制成的汽車齒輪具有極優(yōu)的性能。

        2.2.2.4 其它霍爾電路

        除上述各種霍爾器件外,目前還出現(xiàn)了許多特殊功能的霍爾電路,如功率霍爾電路,多重雙線霍爾

        3 霍爾器件的應用

        3.1 應用的一般問題

        3.1.1 測量磁場

        使用霍爾器件檢測磁場的方法極為簡單,將霍爾器件作成各種形式的探頭,放在被測磁場中,因霍爾器件只對垂直于霍爾片的表面的磁感應強度敏感,因而必須令磁力線和器件表面垂直,通電后即可由輸出電壓得到被測磁場的磁感應強度。若不垂直,則應求出其垂直分量來計算被測磁場的磁感應強度值。而且,

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