壓力傳感器-Pressure sensor

力學傳感器的種類繁多，但常用的壓力傳感器有電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。應用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。

我國壓力傳感器市場主要是工業自動化控制領域，和汽車領域。在工控領域里目前我國絕大部份采用擴散硅壓力傳感器、應變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器，而國內廠家生產面廣量大的就是擴散硅壓力傳感器。在國內，西安市是我國笫二個五年計劃里重點發展壓力系列傳感器的重要城市，陜西寶雞市在省會城市西安的帶動下，由原秦嶺晶體管廠進行技術改造，和美國霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司，為我國擴散硅壓力傳感器生產開創了先河。但MEMS技術和前道硅片制造技術仍控制在外國廠家手里。

國內從事硅電容壓力傳感器的研究可以說是剛剛起步。盡管國內已經有單位研制出了硅電容傳感器，它的精度和靜壓特性已接近富士公司產品的平均水平，但在長期穩定性方面，差距較大。同時，國內的電容傳感器在高差壓和微差壓規格的開發上仍有較大差距。國外壓阻式傳感器精度可以達到0.075%，而國內研制的壓阻式傳感器的精度只有0.1%。在長期穩定性能上，國產傳感器和進口傳感器的差距更為明顯。國產產品長期穩定性的指標為0.1%/年，比國外產品至少高2倍。另外，國產產品的溫度特性差。與國外產品相比，溫度漂移比國外產品的典型值大50%～100%。此外，國產產品的規格品種不夠全，在微差壓和高差壓、高靜壓規格方面沒有成熟的產品，不能滿足某些工藝的特殊要求。

壓力傳感器的國產化問題的關鍵主要是如何提高傳感器的長期穩定性。傳感器的長期穩定性和傳感器的材料選擇、結構設計、加工工藝密切相關。我國在MEMS加工工藝上還處于相對落后階段，提高工藝水平無疑是提高傳感器性能的長遠之計。

目前，國內相關高校和科研院所對壓阻式和電容式MEMS傳感器進行了大量的研究，在理論和工藝水平上都取得了一些成果。就當前工藝水平而言，如果能夠實現某種形式的補償或者在線的自標定方法，則有可能在短期內提高傳感器的長期穩定性，使國產傳感器在穩定性指標上滿足石化行業需求。

國內主要壓力傳感器生產企業有：陜西秦明電子有限公司（壓力傳感器和變送器）、昆山雙橋傳感器測控技術有限公司（壓阻壓力傳感器）、北京中科明緯科技有限公司、北京瑞利威爾科技發展有限公司、上海菱生電子儀器有限公司、北京鑫諾金傳感技術有限公司、南京高華科技有限公司、深圳維納新科光電有限公司、北京青鳥元芯微系統科技有限責任公司、上海朝輝壓力儀器有限公司、深圳市科普瑞傳感儀器有限公司、麥克傳感器有限公司。