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柔性非晶硅薄膜太陽能電池技術

作者：時間：2011-08-13 來源：網絡

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結構，這是整個制造過程中最關鍵的工藝步驟。對于三結非晶硅太陽電池來說，需要在已經做好的背反射器的表面連續沉積9層硅基薄膜，包括3個P-I-N結子電池，各分離的反應室之間需要設計獨特的氣氛隔離室以防止相鄰反應室間的氣體交叉污染。硅基薄膜沉積完成之后，需在電池頂部沉積銦錫氧化物(ITO)，即透明導電氧化層作為入射光的減反射層。然后需要在光入射一面布置柵線，并根據最后電池的尺寸和形狀，進行切割、電極接合、電池切割和電池互聯，從而構成具有一定參數的電池組件。該生產線的年產量為30MW，造價為6000萬美元，90米長，3米高，以厚度127μm的不銹鋼(長2.6km，寬36cm)為襯底

采用roll to roll技術來制備大面積柔性襯底非晶硅太陽電池，有以下關鍵技術問題需要解決：非晶硅薄膜的高速沉積；大面積薄膜生長時的均勻性；各反應室間氣體隔離裝置的開發；實時監控與診斷等等。整個roll to roll生產線的開發是一個國家綜合工業實力和基礎的體現。

五上海太陽能工程技術研究中心的工作

上海市太陽能工程技術研究中心目前擁有整套的柔性非晶薄膜電池研制線，太陽模擬器、QE測試設備等測試裝置，目前所研制的不銹鋼襯底非晶硅電池，電池效率達到8.4%(AM0，25℃)；聚酰亞胺襯底非晶硅電池，電池效率達到6.4%(AM0，25℃)。

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關鍵詞： 太陽電池 柔性襯底 薄膜

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