晶體硅太陽能電池激光邊緣絕緣化處理

　　伴隨著晶體硅太陽能電池產業的穩步發展，激光一直被認為是提高電池質量和降低制造成本的重要工具。激光加工在諸如激光燒蝕電極（LFC）、激光刻槽掩埋柵電極（LGBC）、以及M/EWT等應用增長顯著，目前在晶體硅太陽能電池制造中應用最廣泛的激光工藝之一是激光邊緣絕緣處理。

　　c-Si電池制造過程中N型離子摻雜/擴散到P型硅基體形成微米級的N型摻雜膜層，這個膜層包圍了整個晶圓片，從而造成了電池前后兩面電極的分流，為了避免分流就必須對電池邊緣進行絕緣化處理。

　　典型的激光邊緣絕緣化處理是通過在盡可能靠近太陽能電池外緣的周圍進行刻劃溝槽來實現。為了獲得最佳的絕緣效果，溝槽的深度必須大于離子擴散層，典型的溝槽深度為10-20um，寬度為20-40um。盡管Spectra-Physics激光器產品中有眾多型號能勝任絕緣處理工作，但是加工速度最快，質量最高的還是最新的調Q全固態激光器系列，其中首選為Pulseo 355-20。

　　355nm短波長，23ns的短脈沖寬度使得Pulseo激光器是太陽能電池絕緣化處理的理想選擇。實驗室測試證明結合高速掃描檢流技術，Pulseo 355-20在1-2秒內可以絕緣156mm的晶圓片，集成加工設備后，有賴于良好光學系統設計（光斑等）絕緣劃片的速度可望達到500-1000mm/sec或者更高。

　　由于短的脈沖寬度，與355nm短波長造成的硅片作用深度淺等因素造就了Pulseo紫外激光器的高精度絕緣劃線。作為另外的選擇532nm激光也可用于絕緣劃線，并且同樣保持著高速度與高質量。

　　對于綠光，我們提供Pulseo 532-34，高功率的調Q激光器。當結合電流掃描儀，既能獲得高速拐彎與最少的燒蝕。120kHz重復頻率下極高的功率和穩定、優異的性能使其在很小的聚焦光斑下也能獲得平滑均勻的刻劃線?？傊?，Pulseo 532-34的短脈沖寬度結合高峰值功率和高重復頻率帶來干凈高效的激光絕緣化劃線效果。

　　太陽能電池邊緣絕緣處理推薦產品：Pulseo激光器

　　Pulseo系列激光器延續了Spectra-Physics全固態調Q激光器高功率、高重復頻率的優秀品質，擁有高峰值功率、短脈寬與嚴格的制造標準，是高精度加工工業應用的理想選擇。