外延薄膜硅太陽能電池的研究分析

為了進(jìn)一步提高電流密度，進(jìn)而提高電池的效率，我們使用等離子體粗糙處理來實(shí)現(xiàn)新型的電池概念。迄今為止，在多晶硅太陽能電池的襯底結(jié)構(gòu)中，襯底都用作背反射器。通過對(duì)電池前表面進(jìn)行粗糙處理，可以降低電池的前反射率，并更好地將光耦合到電池中，從而能夠更有效地俘獲光子。等離子體粗糙處理是通過使用氟基化學(xué)物質(zhì)在一個(gè)反應(yīng)器中來完成的。結(jié)果表明，電流密度增加了約15%(在氧化鋁襯底上得到這一結(jié)果)。增大的電流密度將電池的效率推進(jìn)到創(chuàng)紀(jì)錄的7%。

然而，雖然所獲得的Voc (506 mV)和填充因子(71%)可謂達(dá)到了目前最好的工藝水平，但是電流密度(19.7 mA/cm2)和電池效率對(duì)于商業(yè)化而言仍然太低。通過優(yōu)化等離子體粗糙處理工藝并降低電池背面場(chǎng)層的厚度，我們希望在不久的將來獲得遠(yuǎn)超過7.0%的效率。