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        差分放大器的不匹配效應及其消除

        作者: 時間:2012-10-29 來源:網絡 收藏
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          如圖7(b)所示,為了避免溝道效應,通常在源一漏離子注入時把注入方向(或圓片方向)傾斜7°左右,這樣柵極多晶硅就會阻擋一部份離子,形成陰影區。結果,在源區或漏區就有一條窄區,它接收的注入較小,因而在注入退火之后,使源區和漏區邊緣的擴散產生了細微的不對稱。

          

        由注入傾斜造成柵陰影區

        圖7(a)給出考慮有柵陰影存在時的結構圖,在圖中,如果陰影區出現在源區(或漏區),那么這兩個器件不會因陰影導致不對稱。在圖中,即使標出了這兩個管子在陰影區的源(或漏)極,這兩個MOS管也不一樣,這是因為M1管源區的右邊是M2管,而M2管源區的右邊是場氧。同樣,M1和M2左邊的結構也不一樣。就是說在制造過程中,M1和M2周圍的工藝步驟不一致。因此圖8所示的結構更好。

          圖8所示結構固有的不對稱性可以通過在晶體管兩邊加兩個虛擬MOS管的方法加以改進,因為這可以使M1和M2管周圍的環境幾乎相同,如圖9所示。

          

        柵陰影效應

          

        增加虛擬管以提高對稱性

          同時,在對稱軸的兩邊保持相同環境也很重要。例如,在版圖中,只有一個MOS管旁邊有一條無關的金屬線通過,這會降低對稱性,增大M1和M2之間的失配。在這種情況下,也可以在另一邊放置一條相同的金屬線(見圖10),最好的辦法就是去掉引起不對稱的金屬線。

          

        去掉引起不對稱的金屬線

          對于大的晶體管,對稱性就變得更困難了。例如,在圖11所示的對中,為使輸人失調電壓較小,這兩個

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