中國MEMS自主特色發展之路五點建議

當前，美國、日本、德國、英國、俄羅斯等國家競相發展MEMS產業。我國MEMS產業與世界的差距也不算太大，甚至某些方面還有自己的獨創性貢獻。近年來，投資迅猛，其發展勢頭值得期盼。

　　那么，我國應該如何走出一條自主特色的發展之路呢？

　　由于MEMS產品種類繁多，生產工藝和標準體系難于有效整合，雖然MEMS產品可以用與半導體相同或者相近的生產線來制作，但只有少數幾類MEMS產品可以用大規模的foundry方式來生產，目前絕大部分MEMS產品都是以小批量方式生產的。這給世界MEMS產業發展帶來了一定的挑戰性，也將奠定今后MEMS生產可能是既不同于IC代工模式也不同于IDM模式的另一種模式：即仍然走設計fabless化，而制造卻小規模化、工藝可以多樣化。

　　MEMS有特殊工藝和要求，這可能是2011年世界MEMS代工產業增長慢于世界MEMS總體產業增長的內在原因。據統計數據顯示，2011年全球MEMS市場規模為102億美元，增長率19%，而前二十大微機電系統（MEMS）代工廠的營收僅比2010年增長了5%。目前，MEMS代工業務在全球市場所占比例較小，不到6%;另外，MEMS代工廠營收在全球總體營業額中所占份額呈減少趨勢。

　　我國半導體制造廠和設計公司規模小、工藝分散、工藝制作水平相對落后，但這可能成為今后MEMS產業發展的一大特點和優點。因為大部分MEMS產品都不必非要用最先進、最尖端的IC工藝生產線來制作，只要產品設計理念先進、應用目標清晰、市場定位明確，用落后幾代的半導體生產線照樣可以制作出一流水平的MEMS產品。

　　我國可以利用世界MEMS產業剛剛起步的機會，從產業現狀出發，奮起直追，變“墨點為梅花”般地巧妙而及時的轉型和發展。

　　第一，繼續發揮中低端產品成本低的優勢，力爭在中低端領域實現“通吃”；第二，逐步向產業鏈高端發展，不斷提高高價值MEMS產品比重；第三，國家適度規劃，盡可能推出能夠引導行業發展的并且能與世界MEMS技術標準相兼容的國家標準；第四，促進各類MEMS產業聯盟、合作組織和學術交流與合作等發展；第五，同步進行MEMS生產設備研發，培養高級MEMS產品設計人員等。