解析質檢儀的光電讀出原理
如圖2所示,AA‘為顯微鏡的正確軸線(光軸與機械軸重臺),A與A’是物像共軛點,設物面標志物為一個中心位于A的小圓孔,當顯微鏡使用過程中,物鏡中心0產生了一個∠的橫向位移時,則A點的像將由A‘移到A“,即像方產生∠’的位移,∠‘泌=s’/s=卩,卩為顯微物鏡的橫向放大倍數。若在像平面上放置四象限硅光電池,如圖2所示,由于圓形像光斑中心的偏移,則破壞了原來光電池四部分輸出的平行狀態,將四部分輸出信號經過前置放大(PM)后,按下列規則進行邏輯運算:
圖1 光學原理圖
值得強調指出,上述的“除法器”是針對質檢儀鑒定后在使用過程中發現的不足而實施的重要改進。除法器的功能在于消除由于電網波動及環境因素所引起的誤差,并使信號輸出與入射光強無關,便于定標。
評論