青禾晶元發布全球首臺獨立研發C2W&W2W雙模式混合鍵合設備

2025年3月11日，香港——中國半導體鍵合集成技術領域的領先企業青禾晶元半導體科技（集團）有限責任公司（簡稱“青禾晶元”）宣布，正式推出全球首臺C2W&W2W雙模式混合鍵合設備SAB8210CWW。作為先進半導體鍵合集成技術與解決方案的提供商，青禾晶元此次發布標志著公司在技術創新領域的又一重要突破。 

青禾晶元新推出的混合鍵合設備SAB8210CWW具備多尺寸晶圓兼容、超強芯片處理能力、兼容不同的對準方式等優勢，可以幫助客戶減少設備投資支出、占地面積以及大幅縮短研發轉量產周期等優勢，能夠為Micro-LED、NAND/DRAM/HBM等存儲器、堆疊集成電路 (SIC）和系統級芯片 (SoC)提供廣泛的支持。 

后摩爾時代，混合鍵合成為主流

自摩爾定律提出以來，芯片行業長期遵循其發展。但近年來，受限制于硅材料和半導體設備，芯片制造商難以繼續縮小晶體管尺寸。先進封裝因此成為提高芯片性能的有效手段，如臺積電CoWoS和HBM的興起就是例證。混合鍵合作為先進封裝的關鍵技術，以高精度實現金屬-金屬和氧化物-氧化物面對面堆疊，提高了芯片性能。W2W混合鍵合已在多領域應用，C2W混合鍵合也在快速興起，成為異質異構集成的主流技術。然而，混合鍵合技術實現過程中面臨挑戰，如鍵合精度、C2W鍵合效率等問題，對相關設備提出了更高要求，促使行業不斷創新。

SAB8210CWW設備：技術創新的集大成者

青禾晶元是一家致力于為全球半導體產業鏈提供高精度、工藝穩定、高性價比的鍵合裝備與方案的企業，憑借在高端鍵合裝備研發制造與精密鍵合工藝方面的深厚積累，公司在全球首臺C2W&W2W雙模式混合鍵合設備SAB8210CWW上，將技術實力展現得淋漓盡致。

具體而言，SAB8210CWW擁有以下幾點優勢：

l雙模工藝集成：設備采用高度靈活的模塊化設計，支持C2W和W2W雙模式混合鍵合，實現無縫適配研發與生產需求，提升設備使用率。

l多尺寸兼容：設備可兼容8寸和12寸晶圓，通過更換部件快速切換，提供更大的靈活性，滿足不同尺寸晶圓的鍵合需求。

l超強芯片處理能力：設備能夠處理厚度最薄至35μm的超薄芯片，同時具備全尺寸兼容性，從0.5×0.5mm到50×50mm的芯片均可處理，保證生產良率和可靠性。

l兼容不同的對準方式：提供片間同軸和紅外穿透兩種對準方式，對準精度優于±300nm（同軸）和±100nm（紅外），應對不同尺寸和材質的芯片。

l創新的鍵合方式：通過鍵合方式創新，最大程度的減少顆粒污染的風險，實現高良率鍵合。

l高精度、高效率：C2W和W2W鍵合技術實現±30nm的對準精度和±100nm的鍵合精度，C2W單鍵合頭UPH最高可達1000片/小時。智能化偏移補償：配備高精度高通量檢測模塊和內置算法，實現負反饋偏移補償，確保鍵合精度的穩定性和一致性。 

以SAB 82CWW系列為起點，青禾晶元將持續深耕先進鍵合技術，加大研發投入，推出更多滿足客戶需求的產品，攜手全球合作伙伴，推動半導體異質集成技術邁向新高度。

關于青禾晶元

青禾晶元半導體科技（集團）有限責任公司是中國半導體鍵合集成技術的高新技術企業。公司核心業務涵蓋高端鍵合裝備研發制造與精密鍵合工藝代工，技術廣泛應用于先進封裝、半導體器件制造、晶圓級異質材料集成及MEMS傳感器等前沿領域，通過“裝備制造+工藝服務”雙輪驅動，構建全產業鏈解決方案，已成功開發四大自主知識產權產品矩陣：超高真空常溫鍵合系統、混合鍵合設備、熱壓鍵合裝備及配套工藝服務。通過持續技術創新，公司致力于為全球半導體產業鏈提供高精度、工藝穩定、高性價比的鍵合裝備與方案，助力戰略新興產業崛起。