國產相變存儲器如何開啟產業化應用？

潛心相變存儲器研究15年，中科院上海微系統所研究院宋志棠團隊在130納米技術節點相變存儲器技術研發取得重大突破。近4年來，通過和珠海艾派克微電子有限公司產學研用協同合作開發的打印機用相變存儲器芯片，取得了工程應用的突破，實現了產業化銷售。截至今年6月，該芯片已銷售1600萬顆。這是記者從6月28日上海微系統所舉行的成果發布會上獲悉的。

相變存儲器，顧名思義，是利用電脈沖誘導相變材料在高阻的非晶態與低阻的晶態之間進行可逆轉變，實現信息的寫入和擦除，通過電阻變化實現數據讀出的一種新型存儲器。能否研發出集兩者優點于一身的新型存儲器，成了影響電子產品升級換代的一個關鍵因素。相變存儲器是近年來科學家研究的新型存儲器之一。目前國際上僅有三星、鎂光、英特爾推出了相變存儲產品。

為了打破這一局面，宋志棠團隊從2003年于國內率先開展相變存儲器的研發。在中科院上海微系統所和中芯國際的支持下，雙方共同組建研發團隊，申請國家項目，搭建起8-12英寸相變存儲器研發平臺，并于2007年進一步建立了“納米半導體存儲技術聯合實驗室”，經過多年研究取得了多項重大技術進展，建立了1.6億關鍵的相變存儲器專用平臺，實現了相變材料制備工藝與中芯國際180nm-28nm標準CMOS工藝的無縫對接，使我國的相變存儲器芯片研發條件達到了國際先進水平。

我國相變存儲器技術目前處于剛起步階段，為加快推進相變存儲器的產業化進程， 2012年中科院上海微系統所與行業龍頭企業艾派克合作。中科院上海微系統所側重原始創新及關鍵技術的基礎科學問題研究，中芯國際擅長芯片集成工藝的開發，艾派克深耕市場，三方合作創新，產學研用緊密結合。

“在這種合作模式下，國產相變存儲器技術勢必會為我國半導體行業帶來新的契機。”據艾派克副總經理丁勵介紹，三方聯合設計的Kb級打印機用相變存儲器芯片于2016年實現產業化，供貨4個多月來尚未出現任何問題。未來三方將進一步開發110-40納米技術節點的打印機、物聯網等領域相變存儲器芯片，為嵌入式相變存儲器技術發展和大容量相變存儲器芯片應用積累更加豐富工程經驗。