MEMS傳感器的應用走勢及提高精度的方法探討

　　*誤差。測量沒有百分之百的準確，因為是模擬的(注：因為信號產生源是模擬的，內部整個鏈路是模擬的)，需要考慮偏移、靈敏度、非線性誤差(NL)、交叉軸誤差(CX)等。

提高傳感器精度的方法

　　為了提高MEMS傳感器精度，需要改善設計和制造工藝。在MEMS器件中，設計和制程其實只占了20%工作量，還有80%是測試和校準(如圖7)。這意味著同樣一個MEMS傳感器，如果測試、校準做得更精細，完全可以從精度5%提升到1%，甚至更高。

　　因為MEMS器件看起來輸出的是數字，但里面是非常模擬的，甚至比模擬電路還模擬(注：因為里面存在機械結構)。在測試和校準方面是采用一點測試還是三點測試、十點測試?是隨時間調校還是只調校一次?……這些方法都會影響到最后的精度。

　　因此MEMS傳感器獨特的地方是精度與調校時間相關。例如消費類MEMS傳感器的精度通常低一些，因為一天要保證出貨100萬片，產線、產能不可能支撐每一個器件都去校準、測試，因為花的時間要按秒來算，因此精度可以保證應用即可。同樣的產品如果在測試上花更多的時間就是工業級的。更高一級是以小時來計。再高一級，一個芯片測試上百次，可以把傳感器調校得非常精準，這可以用幾星期來計算，精度就會不一樣。因此如果按單位1的概念來計算，消費級是x10，工業級是x100，戰略級x1000的概念。

　　因此，ST的優勢是在消費類產品測試和校準方面有豐富的算法和流程積累，甚至有很多專利技術，可以用到汽車和工業應用中。

　　例如運動MEMS傳感器有三個關鍵元件——采用特殊的微機械加工技術的微型傳感器，內置智能功能的專用ASIC電路，專用的封裝及校準功能(如圖8)。在封裝上，為了滿足工業應用，把塑封改為陶瓷封裝，因為塑封會熱脹冷縮，隨溫度影響較大。

看好智慧工業

　　智慧工業也許是真正推動物聯網普及的領域。因為工業應用種類繁多，總量并不一定比其他應用大。在這個行業里如果挖得深，潛力是巨大的。

　　工業應用對傳感器的要求比消費類要更高。例如生命周期長(注：不像消費電子也許一夜暴富，但也許會很快退潮)。作為對比，對于消費電子，過去ST的新產品2年更新一次，現在一年更新2次;而工業要長期供貨，例如十年。另外工業應用的工作環境苛刻，目前還沒有形成完整的供應鏈體系，而且還是niche market(利基市場)。工業市場也許要十年才能起來。

　　在傳感器方面，除了硬件，ST還有完整的軟件解決方案。例如在設備檢測和預知維護方面，過去馬達保護是過流、過壓等，手摸著燙了才發現出了問題，其實源頭是振動，幾個星期前就會有征兆，改善的方法是在旋轉設備上安裝位置傳感器，定期接收傳感器數據，并將實測數據與基準數據比較，實現預知性維護。

如何改造現有的制造設備?

　　通常人們稱新的制造設備是綠地，現有的設備為棕地。為了改造現有設備，ST推出了無線、有線連接芯片技術，可在新裝制造設備(圖9的綠地)和現有制造設備上(圖9的棕地)實現物聯網連接。

一些有趣的應用

　　*手機MEMS麥克風的新趨勢。MEMS麥克風正從一兩顆向三四顆發展。例如蘋果6以上的手機都是4個麥克風，手機底端左右各一個主麥克風，手機頂端測距傳感器旁邊有一個輔麥克風，主要用于消除噪聲;手機背面攝像頭旁邊有一輔麥克風，用于拍攝視頻的聲音錄制。四個麥克風需要大量軟件算法以保持聲音的一致性，這些軟件通常是手機公司或第三方合作伙伴開發的。

　　*eMeet公司的移動會議揚聲器。麥克風就像人的耳朵，為何有的5米之外說話還能聽到，有的2米就聽不清了?答案是軟硬件技術的綜合。ST主要提供高精度的麥克風。那么為何eMeet公司的產品有4個麥克風?就像八爪魚會議系統一樣，聰明的麥克風會識別聲源，誰說話波束就轉向誰，因此是360°全方位拾音(如圖10)，同時避免了噪聲干擾。

小結

　　過去十年消費電子使MEMS傳感器普及和繁榮。下一個十年將擴展到汽車和工業應用，這需要精度進一步提高，需要制程尤其是調校技術的進步，同時無線、軟件等技術的結合和促進也是十分必要的。

　　參考文獻：

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　　[5]張文瑞,張丕狀.基于MEMS傳感器的運動物體軌跡仿真研究.電子產品世界(7):62-65.

　　本文來源于《電子產品世界》2017年第11期第15頁，歡迎您寫論文時引用，并注明出處。