Entegris推出全面去除金屬離子的Purasol 溶劑純化器

　　Entegris Inc. (NASDAQ:ENTG) 是為微電子行業(yè)提供特殊化學(xué)品和先進材料處理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者，今日推出了 Purasol?，這是一款首創(chuàng)的溶劑純化器，可去除超凈化學(xué)品制造工藝所用有機溶劑中發(fā)現(xiàn)的各種金屬微污染物。

　　這款新型多功能純化器采用獨特的定制薄膜技術(shù)，可以有效地去除各種超純、極性和非極性溶劑中的溶解性和膠狀金屬污染物。

　　Entegris 微污染控制部門高級副總裁 Clint Haris 表示：“隨著對金屬污染物的敏感度不斷增加，光化學(xué)品制造商正在尋找新的技術(shù)解決方案來處理各種各樣會導(dǎo)致產(chǎn)品瑕疵的污染物，這些污染物更難控制，且控制成本更高。在我們持續(xù)努力開發(fā)針對這些挑戰(zhàn)的超凈解決方案的過程中，我們研發(fā)了一種新型薄膜技術(shù)，能有效去除這些關(guān)鍵污染物。”

　　Purasol 純化器與大部分溶劑兼容，包括環(huán)己酮等難以去除的酮類，并且提供出色的潔凈度，具備極為關(guān)鍵的金屬去除能力，對污染物的去除性能達到萬億分之一或更優(yōu)的等級。現(xiàn)有兩種產(chǎn)品選擇，針對不同的溶劑極性(極性和非極性)，去除已知會在光刻應(yīng)用中導(dǎo)致缺陷的金屬。

　　有關(guān) Purasol 純化器的更多信息，請蒞臨 SPIE 光電及光子大會(2017 年 2 月 28 日 – 3 月 1 日)Entegris 展位，或訪問www.entegris.com/purasol。