Fourier變換輪廓術(shù)中參數(shù)的選擇和優(yōu)化研究

為了進(jìn)一步說(shuō)明經(jīng)參數(shù)選擇和優(yōu)化的優(yōu)越性，在標(biāo)定的基礎(chǔ)上得出以下的誤差圖：標(biāo)定行程為10 cm，步進(jìn)電機(jī)攜標(biāo)定板每次移動(dòng)10 mm，這樣在10 cm的行程中總共采集11組圖片，分別為50，40，30，20，10，O，一10，一20，一30，一40，一50(mm)。選取10 mm處的圖片進(jìn)行分析，可得到如圖13所示的標(biāo)準(zhǔn)差圖，從圖中發(fā)現(xiàn)，實(shí)際高度為10 mm的平面，在測(cè)量下其高度分布在9．97～10．005 mm之間，其誤差在0．03 mm以?xún)?nèi)。實(shí)驗(yàn)測(cè)得標(biāo)準(zhǔn)差為0．022 5 mm。

4 結(jié) 語(yǔ)
在參數(shù)選擇和優(yōu)化過(guò)程中，需注意夾角越大測(cè)量精度越高，但是夾角過(guò)大，會(huì)使得視場(chǎng)變小，視場(chǎng)變小會(huì)影響測(cè)量范圍，增大誤差，因此需壓縮夾角。經(jīng)過(guò)多次試驗(yàn)，夾角在20°～30°效果最好，精度最高；利用等效波長(zhǎng)的概念，壓縮夾角，提高投影光柵的空間頻率，這樣既可以保證系統(tǒng)的測(cè)量精度，又可以保證系統(tǒng)的視場(chǎng)范圍。同時(shí)，進(jìn)行空間帶寬積的合理選擇，以及濾波、相位展開(kāi)等處理，進(jìn)一步提高了FTP的測(cè)量范圍的同時(shí)，系統(tǒng)的測(cè)量精度也得到了保證，達(dá)到兩全其美的效果。