MEMS市場展示美好

　　MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)微電子機械系統，出現于19世紀，從上世紀60年代起經過美國科技人員的不斷開發改進，并于1989年首先提出了“微電子技術應用于電機系統”的概念。由此，MEMS成為微機械等領域的學術用語，MEMS技術也成為熱門研究課題。MEMS隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展，MEMS是感知、計算和執行的融合，它把電子技術與機械特性有機地結合了起來，可同時實現物理、化學、生物等方面的功能，現已滲透到電子、機械、物理、化學、醫學、生物等各個領域，變成世界矚目的重大科技領域之一，并具有廣闊的前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造的傳感器，與傳統傳感器相比，具有體積小、重量輕、成本低、功耗少、可靠性高、適于批量生產、易于集成和實現智能化等特點。

　　傳感器已屬于WSTS的統計項目之一，2012年銷售值80億美元，占整個半導體市場的2.7%，2013年增長4.5%，達84億美元，占2.8%，明年進一步上揚7.1%，達90億美元，占2.9%，2015年續增5.5%，達95億美元，占2.9%，保持著年年成長的趨勢。另外，Fairchild Semiconductor公司MEMS與傳感器解決方案副總裁Janusz Bryzek從出貨量方面進行了預測，他說未來世界MEMS傳感器的應用有可能達到萬億片的規模，展望2023年， MEMS芯片出貨量估計可達1630億片，半導體芯片則為1.95萬億片，MEMS芯片出貨量占半導體量的比重將從2010年的3%提高到2023年的8%。圖1還告訴我們，從今往后兩者出貨量的發展速度會愈來愈快，MEMS的增速將從每年13%，提高到38%，半導體則將從9%提升到27%，前者的成長速度更勝于后者。

　　人機介面的歷史從鍵盤、鼠標，到目前流行的MEMS傳感器和控制器，觸控、手勢、語音、影像識別等正日漸普及，MEMS傳感器的應用不斷擴大。以日本為例，在半導體趨于式微的今天，半導體廠商轉而寄希望于傳感器，積極推進MEMS傳感器事業。今年6月日本政府擬定的“日本再興戰略(Japan Is Back)”中便列有基礎設施檢查診斷項目。在橋梁、道路、大樓等基礎設施中設置各類傳感器，以收集的有關數據為基礎，企望發揮檢查診斷的作用。這方面使用的傳感器市場規模將從今天的5000億日元增長到2030年的10萬億日元。衰落的家電王國日本今后傳感器的應用將向著醫療和機器人邁進，隨著高齡化的進展和抑制高昂的醫療費用，國家將推行家庭醫療政策，廣泛采用小型醫療器具，增加傳感和監視功能，利用可穿戴設備經常監視老年人的血壓和心跳，防病于未然。

　　先前的日本福島第一核電廠事故中首先采用了機器人，此外，護理工作和生產自動化都將積極采用智能機器人，基礎設施非破壞性檢查診斷也需用機器人，故而日本機器人市場將從今天的50億日元成長到2030年的2萬億日元。還有汽車業也是日本的得意行業，凡此，都是廣泛采用傳感器的領域，因而JEITA(日本電子信息技術產業協會)預測，日本2020年傳感器市場將達5.87萬億日元(圖2)。