將MEMS傳感器用于各種創新的消費類產品設計

　　因為技術和經濟的原因，MEMS傳感器曾經被局限在汽車市場和工業應用領域；今天，隨著MEMS傳感器越來越小，價格越來越低，能效越來越高，設計和應用空間不斷擴大，它在消費類應用市場的普及率正在不斷提高。

　　制造這些器件所采用的微加工技術與制造基本集成電路所采用的工序和工藝大同小異，只不過微加工的產品通常是一個能夠活動的立體的機械結構(如圖1)。

　　雖然制造MEMS產品可以使用多種不同的材料，但是硅越來越受到業界的歡迎，因為硅的電氣、機械和熱屬性都非常出色。此外，半導體廠商還意識到，如果使用成熟的芯片量產制造技術，在晶片上一次可以制造數以萬計的MEMS器件。這就是說，MEMS可以利用微電子器件現有的規模經濟，獲得更大的成本優勢，特別是在進軍消費類產品市場時，利用好這個優勢更加重要。因此，以硅為MEMS材料的吸引力最大。

　　過去，在沒有這項技術之前，有很多應用是不可能的；今天，這項技術正在將這些應用變為可能。

　　手提電腦、手機、便攜媒體播放器和移動終端設備內的硬盤驅動器墜落保護功能，是MEMS運動傳感器在消費電子市場的具有重要歷史意義的代表性應用之一。

　　在手提電腦內的三軸加速計可以監測加速度，因為具有特定的功能和數據處理電路，它能夠檢測到硬盤驅動器的意外摔落事故，并及時命令讀寫頭縮回到安全位置，以防電腦最終摔落在地板上時損壞讀寫頭。

　　健身和健康監測是MEMS傳感器的另一類具有代表性的應用。

　　計步表或計步器是利用三軸MEMS傳感器實現健身和健康監測功能的代表性應用，在特定的情況下，計步器的傳感器能夠精確地測定在步行和跑步過程中作用在系統上的加速度，通過處理加速度數據，計步器顯示用戶走過的步數和速度，以及在身體運動過程中所消耗掉的熱量。

　　圖 1 ： 基于MEMS的線性加速計。