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EEPW首頁 > 工控自動化 > 設計應用 > MEMS和信號調理實現擴散硅壓力傳感器

MEMS和信號調理實現擴散硅壓力傳感器

作者：時間：2011-09-13 來源：網絡

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在寬溫度范圍內實測校準后的傳感器有效抑制了溫度變化對其產生的影響。如圖7所示的多只標準信號輸出的傳感器寬溫度校準數據曲線：不難看出，在寬溫度工作環境下采用此法校準的傳感器的讀出溫度誤差約為1%一2%FS，達到寬溫度的高精度測量要求，且通過多通道的通訊接口進行校準的方法與批量制造技術兼容，實現制造車用傳感器的高性價比的要求。

本文引用地址：http://www.104case.com/article/161497.htm

　　

圖7多傳感器寬溫度校準數據曲線

　　圖7多傳感器寬溫度校準數據曲線

　　3綜合封裝與結論

　　將傳感器與信號調理電路板封裝在一個直徑23mm高27.5mm的不銹鋼金屬殼體內并且在傳感器的一端使用接插件的方式作為信號連接，方便測試及維護?？傮w封裝后如圖8所示。

　　

圖8總體封裝外觀圖

　　圖8總體封裝外觀圖

　　該MEMS硅壓阻汽車壓力傳感器在MEMS技術、封裝技術與信息技術的結合下成為一個具備高性價比的實用化產品。是當代先進技術的結合，值得重視其發展。

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關鍵詞：壓力 傳感器 擴散實現信號調理 MEMS

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